特許
J-GLOBAL ID:200903083252374084
自己診断回路及びシステムLSIテスタ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
渡辺 喜平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-001957
公開番号(公開出願番号):特開2002-207066
出願日: 2001年01月09日
公開日(公表日): 2002年07月26日
要約:
【要約】【課題】 自己診断及びキャリブレーションの所用時間を短縮することができる技術の提供。【解決手段】 二つの測定チャンネルを有する多チャンネル高精度電圧測定器100と、テストヘッド2a及び2bそれぞれのアナログユニット・ピンエレクトロニクス22aと多チャンネル電圧測定器とを接続する診断用アナログ経路4とを備え、多チャンネル電圧測定器が、二つのテストヘッドのアナログユニット・ピンエレクトロニクスそれぞれの出力電圧を、診断用アナログ経路を介して、並列に測定する。
請求項(抜粋):
複数のテストヘッドを有し、アナログ試験信号を出力するアナログユニットを前記テストヘッド別に設けたシステムLSIテスタを構成する自己診断回路であって、複数の測定チャンネルを有する多チャンネル電圧測定器と、前記アナログユニットの各々と前記多チャンネル電圧測定器とを接続する診断用アナログ経路とを備え、前記多チャンネル電圧測定器が、互いに異なるテストヘッド用の複数のアナログユニットからの出力電圧を、前記診断用アナログ経路を介して、並列に測定することを特徴とする自己診断回路。
IPC (4件):
G01R 31/28
, G01R 31/26
, G01R 31/316
, G01R 31/319
FI (5件):
G01R 31/26 G
, G01R 31/28 V
, G01R 31/28 C
, G01R 31/28 R
, G01R 31/28 Y
Fターム (14件):
2G003AA07
, 2G003AB01
, 2G003AH01
, 2G003AH05
, 2G032AA09
, 2G032AD01
, 2G032AE07
, 2G032AE08
, 2G032AE10
, 2G032AE12
, 2G032AF10
, 2G032AH07
, 2G032AK11
, 2G032AK19
引用特許:
出願人引用 (9件)
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特開平3-037582
-
半導体試験装置における周波数/周期測定装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-198137
出願人:株式会社アドバンテスト
-
特開平1-119772
-
特開平2-038874
-
IC試験装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-060325
出願人:株式会社アドバンテスト
-
直流試験装置の校正方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-252277
出願人:株式会社アドバンテスト
-
検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-170788
出願人:株式会社日立製作所
-
ICテストシステム
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-308959
出願人:株式会社アドバンテスト
-
DC並列測定回路
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-297428
出願人:安藤電気株式会社
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審査官引用 (9件)
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特開平3-037582
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半導体試験装置における周波数/周期測定装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-198137
出願人:株式会社アドバンテスト
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特開平1-119772
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特開平2-038874
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IC試験装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-060325
出願人:株式会社アドバンテスト
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直流試験装置の校正方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-252277
出願人:株式会社アドバンテスト
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検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-170788
出願人:株式会社日立製作所
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ICテストシステム
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-308959
出願人:株式会社アドバンテスト
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DC並列測定回路
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-297428
出願人:安藤電気株式会社
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