特許
J-GLOBAL ID：200903083292816764
レーザー走査型顕微鏡およびその参照補正方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊藤 武久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-280593
公開番号（公開出願番号）：特開2001-147376
出願日： 2000年09月14日
公開日（公表日）： 2001年05月29日
要約：
【要約】【課題】レーザー走査型顕微鏡、特に共焦点のレーザー走査型顕微鏡において、種々の対象物の絶対測定を十分な精度で行うことができ、その際測定条件への外乱を補正することができるようにすること、およびその方法を提供すること。【解決手段】参照測定のために用いる少なくとも1つの参照光路(9)が設けられている。照明光路(4)から参照光を参照光路(9)へカップリング可能である。参照光を検出装置(6)により定性的および(または)定量的に検出可能である。
請求項（抜粋）：
レーザー光線源(1,2)と対象物(3)の間に延びている照明光路(4)と、対象物(3)と検出装置(6)の間に延びている検出光路(7)とを備えたレーザー走査型顕微鏡、特に共焦点のレーザー走査型顕微鏡において、参照測定のために用いる少なくとも1つの参照光路(9)が設けられていること、照明光路(4)から参照光を参照光路(9)へカップリング可能であること、参照光を検出装置(6)により定性的および(または)定量的に検出可能であることを特徴とするレーザー走査型顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 21/00
, G01N 21/63 A
