特許
J-GLOBAL ID：200903083468481527

電磁波を用いる検査装置及び検査方法

発明者：
尾内 敏彦

尾内 敏彦 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 加藤 一男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-224940
公開番号（公開出願番号）：特開2009-058310
出願日： 2007年08月31日
公開日（公表日）： 2009年03月19日
要約：
【課題】電磁波を用いて検査対象物の電磁波応答情報を平均的な情報として高速に取得することができる検査装置及び方法を提供する。【解決手段】電磁波2を用いる検査装置は、電磁波を発生して検査対象物11に照射する電磁波発生・照射手段9と、複数の検出部を備える電磁波検出手段10と、を有する。複数の検出部は、電磁波発生・照射手段で発せられ検査対象物11の異なる部位と相互作用して透過または反射した電磁波を検出する様に配置され、且つ異なる部位からの電磁波を夫々異なる検出時間或いは検出周波数で検出する様に構成される。検査装置は、複数の検出部からの検出信号に基づいて、検査対象物11の電磁波応答の情報を取得する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
電磁波を用いる検査装置であって、 電磁波を発生して検査対象物に照射する電磁波発生・照射手段と、複数の検出部を備える電磁波検出手段と、を有し、 前記複数の検出部は、 前記電磁波発生・照射手段によって発せられ検査対象物の異なる部位と相互作用して透過または反射した電磁波を検出する様に配置され、且つ 前記異なる部位からの電磁波を夫々異なる検出時間或いは検出周波数で検出する様に構成され、 複数の検出部からの検出信号に基づいて、検査対象物の電磁波応答の情報を取得する、 ことを特徴とする検査装置。
IPC (1件)：
G01N 21/35
FI (1件)：
G01N21/35 Z
Fターム (12件)：
2G059AA01 ,  2G059BB01 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE12 ,  2G059GG01 ,  2G059GG10 ,  2G059HH05 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ17 ,  2G059KK04
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (5件)
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