セラミックス材料

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：高山宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-104460
公開番号（公開出願番号）：特開2002-097075
出願日： 2001年04月03日
公開日（公表日）： 2002年04月02日
要約：

【要約】【課題】ハロゲン系ガスやハロゲン系プラズマに対する耐蝕性が良好であり、しかも、熱伝導率が高く熱衝撃特性に優れたセラミックス材料を提供する。【解決手段】窒化アルミニウムを5重量%以上95重量%以下含み、残部が希土類元素を含む酸化物または複合酸化物からなるセラミックス材料。

請求項（抜粋）：

窒化アルミニウムを5重量%以上95重量%以下含み、残部が希土類元素を含む酸化物または複合酸化物からなることを特徴とするセラミックス材料。

IPC (2件)：

C04B 35/581 , C04B 35/50

FI (2件)：

C04B 35/50 , C04B 35/58 104 B

Fターム (10件)：

4G001BA03 , 4G001BA09 , 4G001BA36 , 4G001BB03 , 4G001BB09 , 4G001BB36 , 4G001BC23 , 4G001BC54 , 4G001BD03 , 4G001BD37

引用特許：

審査官引用 (7件)

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