走査像観察装置用画像調整標準試料台

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-052564
公開番号（公開出願番号）：特開2003-257349
出願日： 2002年02月28日
公開日（公表日）： 2003年09月12日
要約：

【要約】【課題】低倍(数100倍)〜超高倍率(200k倍程度)まで広範にわたってひとつの標準試料でSEM調整を行うために、一つの標準試料で画像調整が可能かつサンプルの大きさ(高さ)に応じて標準試料の高さ調整が可能な点が課題である。さらに、球形の微粒子を程よく分散させる方法の確立が大きな課題である。【解決手段】上記課題を達成するために本発明では、支持台としてガラスを採用し、表面平滑な無構造の支持台を提供する。また、その支持台を親水化処理することで表面に球形のラテックス微粒子を塗布し、水分除去,凍結乾燥処理さらに金属アモルファス膜(オスミウム)で表面を被覆することで分散物を安定に分散固定しかつ導電性を有することができる。さらに、複数の標準試料を一つの試料台に搭載し、目的に応じて選択することを可能とし、サンプルの大きさ(高さ)に応じて標準試料の高さが調整可能な標準試料を提供する。

請求項（抜粋）：

平滑な表面を有する支持台に、親水化処理を行い、超音波による分散処理を行った複数のラテックス微粒子を備えることを特徴とする走査像観察装置用画像調整標準試料台。

IPC (3件)：

H01J 37/20 , G01N 1/00 102 , G01N 1/28

FI (3件)：

H01J 37/20 A , G01N 1/00 102 B , G01N 1/28 F

Fターム (10件)：

2G052AD29 , 2G052AD52 , 2G052FA05 , 2G052FD06 , 2G052FD18 , 2G052GA35 , 2G052JA03 , 5C001AA01 , 5C001AA08 , 5C001CC04

引用特許：

審査官引用 (11件)

分解能評価試料
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-238587 出願人：沖電気工業株式会社
試料台及びその試料台を備えた走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-144573 出願人：株式会社日立製作所, 株式会社日立サイエンスシステムズ
特公平5-029054

全件表示

前のページに戻る