特許
J-GLOBAL ID：200903084934309540
インプリント方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-263534
公開番号（公開出願番号）：特開2004-103817
出願日： 2002年09月10日
公開日（公表日）： 2004年04月02日
要約：
【課題】所定の凹凸パターンを形成したモールドをレジストに対して押圧して転写するインプリント時において、モールドの凹部にレジストが侵入する際、モールドの凹部内に気体が封入され、所定のパターンが形成されないことがある。【解決手段】作業室1内で水平移動可能にした基材6の表面のレジスト層5に対して、下面に凹凸パターン8を形成したモールド7を押圧可能とし、レジスト層5の凹凸パターンをレジスト層5にインプリント可能としている。作業室1は排気装置11によって内部の気体を排気でき、凝縮性ガス供給装置15から下記機能をなす所定性状の気体を供給可能とする。その気体は、インプリント時にモールドの凹部にレジスト層が侵入し、内部の気体が圧縮されると凝縮し液体になるものが選択される。その凝縮により体積は無視できる程度の大きさになり、モールドの凹部の気体封入による欠陥の発生を防止することができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
モールドに形成した凹凸形状を基材表面上に塗布されたレジスト層あるいは供給されたレジストに転写するインプリントを、インプリント時においてモールドに形成した凹部にレジスト層が侵入するときの温度及び凹部内の圧力で凝縮する気体の雰囲気中で行うことを特徴とするインプリント方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (1件)：
引用特許：
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