特許
J-GLOBAL ID：200903085408982023
レジスト用樹脂含有溶液の製造方法及びレジスト用樹脂含有溶液
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
小島 清路
, 萩野 義昇
, 谷口 直也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-134761
公開番号（公開出願番号）：特開2009-282331
出願日： 2008年05月22日
公開日（公表日）： 2009年12月03日
要約：
【課題】ディフェクト要因となる異物が低減されたレジスト用樹脂含有溶液の製造方法、及びディフェクトの発生を抑制できるレジスト用樹脂含有溶液を提供する。【解決手段】本レジスト用樹脂含有溶液の製造方法は、レジスト用樹脂含有溶液を、親水性の濾材層に通液させた後、疎水性の濾材層に通液させる濾過工程を備えており、且つ親水性の濾材層と疎水性の濾材層とが近接していることを特徴とする。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
レジスト用樹脂含有溶液を、親水性の濾材層に通液させた後、疎水性の濾材層に通液させる濾過工程を備えており、且つ前記親水性の濾材層と前記疎水性の濾材層とが近接していることを特徴とするレジスト用樹脂含有溶液の製造方法。
IPC (5件)：
G03F 7/26
, H01L 21/027
, B01D 39/04
, B01D 39/06
, B01D 39/16
G03F7/26
, H01L21/30 502R
, B01D39/04
, B01D39/06
, B01D39/16 C
2H096AA25
, 2H096AA28
, 2H096BA11
, 2H096DA10
, 4D019AA03
, 4D019BA01
, 4D019BA03
, 4D019BA04
, 4D019BA07
, 4D019BA13
, 4D019BA16
, 4D019BB01
, 4D019BB08
, 4D019BB10
, 4D019BB11
, 4D019BC04
, 4D019BC05
, 4D019BC13
出願人引用 (3件)
審査官引用 (7件)
全件表示
前のページに戻る
