ポジ型感放射線性組成物

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小栗昌平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-318057
公開番号（公開出願番号）：特開2001-249460
出願日： 2000年10月18日
公開日（公表日）： 2001年09月14日
要約：

【要約】【課題】疎密依存性と露光マージンが優れるポジ型感放射線性組成物を提供すること。【解決手段】特定のアセタール構造を有する酸分解性基を有し、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂、活性光線又は放射線の照射により酸を発生し、前記酸分解性基の分解反応に寄与する化合物のうち少なくとも1種、活性光線又は放射線の照射により酸を発生し、前記酸分解性基の分解反応に寄与しない化合物のうち少なくとも1種、界面活性剤、溶剤を含有するボジ型感放射線性組成物。

請求項（抜粋）：

(a)下記一般式(I)で示される酸分解性基を有し、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂、(b-1)活性光線又は放射線の照射により酸を発生し、前記酸分解性基の分解反応に寄与する化合物のうち少なくとも1種、(b-2)活性光線又は放射線の照射により酸を発生し、前記酸分解性基の分解反応に寄与しない化合物のうち少なくとも1種、(c)界面活性剤、及び(d)溶剤を含有することを特徴とするボジ型感放射線性組成物。【化1】一般式(I)中、R1は炭素数1〜4個のアルキル基を表す。Wは、酸素原子、窒素原子、イオウ原子、リン原子及び珪素原子からなる群から選択される少なくとも1種の原子と少なくとも1つの炭素原子を含有する有機基、アミノ基、アンモニウム基、メルカプト基、置換あるいは無置換のアリール基、又は置換あるいは無置換の環状アルキル基を表す。nは、1〜4の整数を表す。

IPC (7件)：

G03F 7/039 601 , C08K 5/00 , C08L101/06 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , G03F 7/004 504 , H01L 21/027

FI (7件)：

G03F 7/039 601 , C08K 5/00 , C08L101/06 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 Z , G03F 7/004 504 , H01L 21/30 502 R

Fターム (32件)：

2H025AA00 , 2H025AB03 , 2H025AB15 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE07 , 2H025BE08 , 2H025BG00 , 2H025CC03 , 2H025CC04 , 2H025CC20 , 2H025FA03 , 2H025FA12 , 2H025FA17 , 4J002AA051 , 4J002BC121 , 4J002BG021 , 4J002BG091 , 4J002BG121 , 4J002CH052 , 4J002EB106 , 4J002EH057 , 4J002EU186 , 4J002EU216 , 4J002EV226 , 4J002EV296 , 4J002FD206 , 4J002FD312 , 4J002FD317

引用特許：

出願人引用 (2件)

高分子化合物、化学増幅ポジ型レジスト材料及びパターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-053361 出願人：信越化学工業株式会社
感放射線性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-229160 出願人：ジェイエスアール株式会社

審査官引用 (8件)

高分子化合物、化学増幅ポジ型レジスト材料及びパターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-053361 出願人：信越化学工業株式会社
感放射線性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-229160 出願人：ジェイエスアール株式会社
パターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-095681 出願人：松下電子工業株式会社, クラリアントジャパン株式会社

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