特許
J-GLOBAL ID：200903086594771785
マイクロ波プラズマ処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
河野 登夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-287472
公開番号（公開出願番号）：特開平11-121196
出願日： 1997年10月20日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：
【要約】【課題】 反応器の直径が大きくても、装置全体のサイズが可及的に小さくでき、小さなスペースに設置し得るマイクロ波プラズマ処理装置を提供する。【解決手段】 カバー部材10の上面にはアンテナ11が設けてあり、アンテナ11は、カバー部材10の上面に固定してあり、断面視がコ字状の導波管型アンテナ部12と、カバー部材10の導波管型アンテナ部12に対向する部分に開設した複数のスリット15,15,...とを備えている。導波管型アンテナ部12の一端は、マイクロ波発振器20に連接した導波管21が連結してあり、導波管型アンテナ部12の他端は閉塞してある。導波管型アンテナ部12の一端側は直線状であり、他端側は円弧状又は略一巻き渦巻き状等、適宜の曲率に成形した曲成部12a になしてある。また、スリット15,15,...の開設位置は、導波管型アンテナ部12の閉塞した端部からn・λg/2の位置に定めてある。
請求項（抜粋）：
一部を封止部材で封止してなる容器内へ、前記封止部材を透過させてマイクロ波を導入し、該マイクロ波によってプラズマを生成し、生成したプラズマによって被処理物を処理する装置において、一端からマイクロ波を入射する管状部材の他端を閉塞部材で閉塞し、該管状部材の前記封止部材に対向する部分にスリットを開設してなるアンテナが前記封止部材の表面に対向して設けてあり、前記管状部材の一端からアンテナ内へマイクロ波を入射し、前記スリットから前記封止部材へマイクロ波を放射するようになしてあることを特徴とするマイクロ波プラズマ処理装置。
IPC (3件)：
H05H 1/46
, C23F 4/00
, H01L 21/3065
H05H 1/46 B
, C23F 4/00 D
, H01L 21/302 B
