特許
J-GLOBAL ID：200903086793199225

フッ化アンモニウムの付着した基体のクリーニング方法

発明者：
毛利 勇

毛利 勇 について

, 
田村 哲也

田村 哲也 について


出願人/特許権者：
セントラル硝子株式会社

セントラル硝子株式会社 について


代理人 (1件)： 西 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-352661
公開番号（公開出願番号）：特開平11-181421
出願日： 1997年12月22日
公開日（公表日）： 1999年07月06日
要約：
【要約】【課題】 薄膜形成装置、治具、配管等の基体に付着、堆積したフッ化アンモニウムの除去。【解決手段】 付着したフッ化アンモニウムをClF3ガスまたはF2ガスで反応除去する。
請求項（抜粋）：
基体に付着堆積したフッ化アンモニウムをClF3ガスまたはF2ガスで反応除去することを特徴とするクリーニング方法。
IPC (8件)：
C09K 13/00 ,  C23C 16/44 ,  C23G 5/00 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/304 645 ,  C11D 7/02 ,  C11D 17/00 ,  H01L 21/205
FI (8件)：
C09K 13/00 ,  C23C 16/44 J ,  C23G 5/00 ,  H01L 21/304 645 C ,  C11D 7/02 ,  C11D 17/00 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 N
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (4件)
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