特許
J-GLOBAL ID：200903087056081830
プローブ組立体の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松永 宣行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-194935
公開番号（公開出願番号）：特開2001-021581
出願日： 1999年07月08日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：
【要約】【目的】 プローブ組立体の適用可能範囲を広くすること【解決手段】 プローブ組立体は、共通の基端部及び該基端部から平行に突出する長い複数のプローブ領域を備えるプローブブロックを製作し、隣り合うプローブ領域をそれらの中間部において結合材により相互に連結してそれらの相対的位置関係を固定し、前記プローブ領域を前記結合材より先端側の部位と後方側の部位とにおいて互いに反対側に曲げ、プローブブロックの基端部をプローブ領域から切り離し、この切り離しに先立って又はこの切り離しの後に各プローブ領域の第1の導電体層を板状体に設けられた配線に前記結合材より後方側の曲げられた部位において接続することにより製造される。
請求項（抜粋）：
共通の基端部及び該基端部から平行に突出する長い複数のプローブ領域を備えるプローブブロックであって各プローブ領域が少なくとも第1の導電体層を有するプローブブロックを製作し、隣り合うプローブ領域をそれらの中間部において結合材により相互に連結してそれらの相対的位置関係を固定し、前記プローブ領域を前記結合材より先端側の部位と後方側の部位とにおいて互いに反対側に曲げ、プローブブロックの基端部をプローブ領域から切り離し、この切り離しに先立って又はこの切り離しの後に各プローブ領域の第1の導電体層を接続体に設けられた配線に前記結合材より後方側の曲げられた部位において接続することを含む、プローブ組立体の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 1/073 D
, H01L 21/66 B
2G011AA04
, 2G011AA15
, 2G011AB04
, 2G011AB06
, 2G011AB07
, 2G011AB08
, 2G011AC14
, 2G011AE03
, 2G011AE22
, 2G011AF01
, 2G011AF07
, 4M106AA01
, 4M106AA02
, 4M106BA14
, 4M106DD01
, 4M106DD03
, 4M106DD04
