測定機の真直精度補正方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木下實三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-008990
公開番号（公開出願番号）：特開2001-201339
出願日： 2000年01月18日
公開日（公表日）： 2001年07月27日
要約：

【要約】【課題】反転法の欠点を解消でき、かつ、既存の装置を改良することなく信頼性の高い測定データが得られる測定機の真直精度補正方法を提供する。【解決手段】直動機構を有する測定機の真直精度補正方法であって、測定機1の直動機構(4,5)を使って検出器7を移動させながら、予め形状データが値付けされたマスターワークMWを測定し、そのマスターワーク測定データから前記値付けされた形状データを差し引いて直動機構の真直精度データを求める真直精度データ算出工程と、前記測定機の直動機構を使って検出器を移動させながら、ワークを測定し、そのワーク測定データを求めるワーク測定データ算出工程と、前記ワーク測定データから前記真直精度データを差し引いてワークの真値データを求めるワーク形状演算工程とを備える。

請求項（抜粋）：

直動機構を有する測定機の真直精度補正方法であって、前記測定機の直動機構を使って検出器を移動させながら、予め形状データが値付けされたマスターワークを測定し、そのマスターワーク測定データから前記値付けされた形状データを差し引いて直動機構の真直精度データを求める真直精度データ算出工程と、前記測定機の直動機構を使って検出器を移動させながら、ワークを測定し、そのワーク測定データを求めるワーク測定データ算出工程と、前記ワーク測定データから前記真直精度データを差し引いてワークの真値データを求めるワーク形状演算工程とを備えることを特徴とする測定機の真直精度補正方法。

IPC (2件)：

G01B 21/30 101 , G01B 5/28 101

FI (2件)：

G01B 21/30 101 F , G01B 5/28 101 A

Fターム (32件)：

2F062AA04 , 2F062AA51 , 2F062AA55 , 2F062AA57 , 2F062DD12 , 2F062DD23 , 2F062DD32 , 2F062EE01 , 2F062EE62 , 2F062FF04 , 2F062FF17 , 2F062HH01 , 2F062HH13 , 2F062JJ04 , 2F069AA04 , 2F069AA54 , 2F069AA56 , 2F069AA57 , 2F069AA60 , 2F069AA66 , 2F069EE04 , 2F069EE09 , 2F069FF07 , 2F069GG01 , 2F069GG62 , 2F069GG71 , 2F069GG72 , 2F069GG73 , 2F069JJ05 , 2F069JJ17 , 2F069LL02 , 2F069NN00

引用特許：

出願人引用 (10件)

特開平3-042508
表面粗さ形状測定機のデータ処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-285439 出願人：株式会社東京精密
形状測定方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-033355 出願人：富士ゼロックス株式会社

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審査官引用 (10件)

特開平3-042508
特開平3-042508
表面粗さ形状測定機のデータ処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-285439 出願人：株式会社東京精密

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