特許
J-GLOBAL ID：200903087251551409
電子線トモグラフィ法及び電子線トモグラフィ装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-330320
公開番号（公開出願番号）：特開2009-152120
出願日： 2007年12月21日
公開日（公表日）： 2009年07月09日
要約：
【課題】試料の投影方向に関する情報の精度を向上させることにより、高精度の3次元再構築像を得ることができる電子線トモグラフィ法及び電子線トモグラフィ装置を提供すること。【解決手段】前記構造を評価すべき評価部位と、前記評価部位一体的に結合した単結晶部位とを有する試料の前記評価部位に前記電子線を照射して透過電子像を取得すると共に前記電子線の照射角度を変化させずに前記単結晶部位に前記電子線を照射して電子線回折像を取得する。上記操作を複数の角度で行い、一連の透過電子像及び電子線回折像を取得し、その電子線回折像から上記一連の透過電子像の各々についての投影方向を決定する。上記の手法で得られた投影方向に基づいて、上記一連の前記透過電子像の位置合わせを行い、前記評価部位の立体構造の再構築演算を行う。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
構造を評価すべき評価部位と、前記評価部位と一体的に結合した単結晶部位とを有する試料に対し複数の角度から電子線を照射して一連の透過電子線による画像を取得し、これらの画像に基づいて前記評価部位の立体構造を再構築する電子線トモグラフィ法であって、
前記評価部位に前記電子線を照射して透過電子顕微鏡像を取得すると共に前記電子線の照射角度を変化させずに前記単結晶部位に前記電子線を照射して電子線回折像を取得する操作をそれぞれの角度毎に行うことにより、一連の前記透過電子顕微鏡像及び前記電子線回折像を取得する工程と、
前記電子線回折像から前記試料への前記電子線の入射方位を求めて前記透過電子顕微鏡像の各々についての投影方向を決定する工程と、
前記透過電子顕微鏡像の各々についての投影方向の情報を用いて、一連の前記透過電子顕微鏡像の位置合わせを行い、前記評価部位の立体構造を再構築する工程と、
を有することを特徴とする電子線トモグラフィ法。
IPC (3件)：
H01J 37/26
, H01J 37/28
, H01J 37/22
H01J37/26
, H01J37/28 C
, H01J37/22 501A
, H01J37/22 502H
5C033SS06
, 5C033SS07
, 5C033SS10
, 5C033UU05
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (7件)
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