特許
J-GLOBAL ID：200903088500270993

ボール搭載装置

発明者：
根橋 徹

根橋 徹 について

, 
川上 茂明

川上 茂明 について


出願人/特許権者：
アスリートFA株式会社

アスリートFA株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-403042
公開番号（公開出願番号）：特開2005-166908
出願日： 2003年12月02日
公開日（公表日）： 2005年06月23日
要約：
【課題】本発明は、基板載置装置を改良し、微細な半田ボールを大型の基板に工業的レベルで実装できるボール搭載装置を提供することにある。【構成】 半田ボールを搭載する基板を載置する基板載置装置と、基板に密着したマスク上に供給された半田ボールをマスクの開口に落とし込むボール落とし込み装置と、開口に落とし込まれた半田ボールを基板に押圧するボール押圧ヘッドを有するボール押圧装置からなるボール搭載装置であって、基板載置装置は、吸引力発生デバイスを配設する。この吸引力発生デバイスは、必要に応じて上下移動可能な構造となっている。従って、マスクを基板に密着させる工程では、吸引力発生デバイスをマスクに近づけ大きな力でマスクを吸引し、一方、マスクと基板を離間する工程では、吸着力発生デバイスをマスクから遠ざけて、殆んどマスクに吸引力が掛からない状態で、マスクと基板を離間する。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
基板を載置する基板載置装置と、半田ボールを落とし込む開口を有するマスクと、上記半田ボールを上記開口に落とし込むボール落し込み装置と、上記開口に落とし込まれた上記半田ボールを押圧するボール押圧装置とからなるボール搭載装置において、 上記基板載置装置は、XYΘZテーブルと、このXYΘZテーブルに固定治具を介して固定された基板載置テーブルと、上記XYΘZテーブルに設けられたZ軸駆動装置と、このZ軸駆動装置に連結し且つ上記XYΘZテーブルと上記基板載置テーブルの間を移動可動に取付けられた吸着力発生デバイスからなることを特徴とするボール搭載装置。
IPC (3件)：
H01L21/60 ,  H01L23/12 ,  H05K3/34
FI (3件)：
H01L21/92 604H ,  H01L23/12 501Z ,  H05K3/34 505A
Fターム (4件)：
5E319AC01 ,  5E319BB04 ,  5E319CD26 ,  5E319GG15
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (5件)
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