特許
J-GLOBAL ID:200903088930993433

光学測定方法及び光学測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 梶 俊和
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-071179
公開番号(公開出願番号):特開2006-250878
出願日: 2005年03月14日
公開日(公表日): 2006年09月21日
要約:
【課題】流路内に存在するガスや水蒸気等の測定対象の濃度を、非接触で正確に測定することのできる光学測定方法及び光学測定装置を提供する。【解決手段】この光学測定方法は、空気極側セパレータ9によって周囲を囲うように形成されたガス供給流路9a内に存在する酸素ガス中の水蒸気濃度を、レーザ光Lを用いて測定する光学測定方法であって、水蒸気に所定波長のレーザ光Lを照射するステップと、水蒸気を透過した後のレーザ光Lの強度を検出するステップと、検出結果に基づいて、PC25によって水蒸気の濃度を算出するステップと、を有する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
枠体によって周囲を囲うように形成された流路内に存在する測定対象の濃度を、測定光を用いて測定する光学測定方法であって、 前記測定対象に所定波長の前記測定光を照射するステップと、 該測定対象を透過した後の前記測定光の強度を検出するステップと、 該検出結果に基づいて、演算処理装置によって前記測定対象の濃度を算出するステップと、を有することを特徴とする光学測定方法。
IPC (1件):
G01N 21/35
FI (2件):
G01N21/35 A ,  G01N21/35 Z
Fターム (20件):
2G059AA01 ,  2G059BB01 ,  2G059CC07 ,  2G059CC09 ,  2G059DD12 ,  2G059EE01 ,  2G059EE11 ,  2G059FF04 ,  2G059GG01 ,  2G059HH01 ,  2G059HH06 ,  2G059KK03 ,  2G059KK10 ,  2G059MM01 ,  2G059NN01 ,  2G059NN02 ,  2G059NN06 ,  5H026AA06 ,  5H027AA06 ,  5H027KK31
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 加湿装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2000-402840   出願人:帝人株式会社, 三菱電機株式会社
審査官引用 (7件)
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