特許
J-GLOBAL ID：200903089547263037
検出センサ、振動子
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
大場 充
, 堀川 美夕紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-157217
公開番号（公開出願番号）：特開2006-329931
出願日： 2005年05月30日
公開日（公表日）： 2006年12月07日
要約：
【課題】 高感度化、小型化、低価格化、高精度化を図ることのできる検出センサ、振動子を提供することを目的とする。【解決手段】 センサ10において、ディスク型振動子20Aを用いることにより、高感度な質量の物体の検出や、質量の検出を行う。ディスク型振動子20Aは、いわゆるSi単結晶を構造材料として用い、MEMS技術によって製造することができる。検出対象の分子等の付着効率を高めるため、ディスク型振動子20Aの表面に、凹凸、溝等を形成するのが好ましい。 また、ディスク型振動子20Aは、外周部を固定した固定端構造とすることもできる。この場合、ディスク型振動子20Aを駆動する駆動電極21、ディスク型振動子20Aの振動の変化を検出する検出電極22は、ディスク型振動子20Aの表面に対向するように設けるのが好ましい。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
質量を有した物質の付着または吸着により振動特性が変化するディスク状の振動子と、
前記振動子を振動させる駆動部と、
前記振動子における振動の変化を検出することで、前記物質を検出する検出部と、を備えることを特徴とする検出センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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