特許
J-GLOBAL ID：200903090387501287

圧電/電歪デバイス及びその製造方法

発明者：
武内 幸久

武内 幸久 について

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柴田 和義

柴田 和義 について

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滑川 政彦

滑川 政彦 について


出願人/特許権者：
日本碍子株式会社

日本碍子株式会社 について


代理人 (1件)： 千葉 剛宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-297793
公開番号（公開出願番号）：特開2002-026412
出願日： 2000年09月29日
公開日（公表日）： 2002年01月25日
要約：
【要約】【課題】圧電/電歪素子デバイスの長寿命化及び可動部の変位の増大化と高速化(高共振周波数化)を達成させると共に、圧電/電歪素子デバイスのハンドリング性並びに可動部への部品の取付性又は圧電/電歪素子デバイスの固定性を向上させる。【解決手段】相対向する一対の薄板部16a及び16bと、可動部20と、これら薄板部16a及び16bと可動部20を支持する固定部22を具備し、一対の薄板部16a及び16bのうち、少なくとも1つの薄板部16a及び16bに圧電/電歪素子24a及び24bが配設され、一対の薄板部16a及び16bの両内壁と可動部20の内壁20aと固定部22の内壁22aとにより孔部12が形成された圧電/電歪デバイス10Aにおいて、一対の薄板部16a及び16bを金属製とする。
請求項（抜粋）：
相対向する一対の金属製の薄板部と、これら薄板部に対して接着剤を介して固着された固定部とを具備し、前記一対の薄板部の先端部に可動部を有し、前記一対の薄板部のうち、少なくとも1つの薄板部に1以上の圧電/電歪素子が配設された圧電/電歪デバイスであって、前記可動部又は固定部のいずれか一方は、互いに対向する端面を有し、前記端面間の距離が前記可動部の長さ以上であることを特徴とする圧電/電歪デバイス。
IPC (7件)：
H01L 41/09 ,  G01P 15/09 ,  H01L 41/083 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22 ,  G01C 19/56 ,  G01P 9/04
FI (9件)：
G01P 15/09 ,  G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/08 J ,  H01L 41/08 N ,  H01L 41/18 101 B ,  H01L 41/18 101 C ,  H01L 41/18 101 D ,  H01L 41/22 Z
Fターム (7件)：
2F105BB02 ,  2F105BB03 ,  2F105BB12 ,  2F105CC01 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  2F105CD13
引用特許：
出願人引用 (13件)
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審査官引用 (13件)
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