特許
J-GLOBAL ID：200903091230478644
弾性表面波素子の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
片山 修平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-136511
公開番号（公開出願番号）：特開2004-343359
出願日： 2003年05月14日
公開日（公表日）： 2004年12月02日
要約：
【課題】圧電基板の電気機械結合係数を維持し、且つ周波数温度特性を改善した、容易に製造できる弾性表面波素子の製造方法を提供する。【解決手段】圧電基板10と支持基板20を洗浄して接合面の不純物X1及びX2を除去して乾燥処理した後、不活性ガス又は酸素のイオンビーム、中性化ビーム又はプラズマ等を少なくとも一方の接合面に照射することで、残留した不純物X11及びX21を除去すると共に表層を活性化させる。次に、活性化した接合面が向かい合うように、圧電基板10と支持基板20とを貼り合わせる。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
圧電基板と支持基板とが接合された接合基板上に櫛形電極と電極パッドと配線パターンとを含んでなる弾性表面波フィルタが形成された弾性表面波素子を製造する製造方法において、
前記圧電基板と前記支持基板との接合面のうち少なくとも一方に活性化処理を施す第1の工程と、
前記第1の工程で活性化した接合面が向かい合うように前記圧電基板と前記支持基板とを接合する第2の工程と
を有することを特徴とする弾性表面波素子の製造方法。
IPC (6件)：
H03H3/08
, H01L41/09
, H01L41/18
, H01L41/22
, H03H9/25
, H03H9/64
H03H3/08
, H03H9/25 C
, H03H9/64 Z
, H01L41/22 Z
, H01L41/08 C
, H01L41/18 101A
5J097AA06
, 5J097AA13
, 5J097BB15
, 5J097EE08
, 5J097FF01
, 5J097FF05
, 5J097GG03
, 5J097GG05
, 5J097HA03
, 5J097KK03
, 5J097KK10
