マイクロ揺動体、光偏向器、画像形成装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：西山恵三 , 内尾裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-323758
公開番号（公開出願番号）：特開2005-208578
出願日： 2004年11月08日
公開日（公表日）： 2005年08月04日
要約：

【課題】角速度の変動を押さえることが可能な共振型のマイクロ揺動体を提供する。【解決手段】入れ子型マイクロ揺動体であって、複数のねじりバネと複数の可動子からなる系が、分離した複数の固有振動モードを有し、該分離した複数の固有振動モードの中に、基準周波数の固有振動モードである基準振動モードと、該基準周波数の略偶数倍の周波数の固有振動モードである偶数倍振動モードが存在することを特徴とするマイクロ揺動体を提供する。【選択図】図7

請求項（抜粋）：

複数の可動子と該複数の可動子を直列に連結する同一軸上に配置された複数のねじりバネと該複数のねじりバネの一部を支持する支持部と前記可動子の少なくとも一つにトルクを印加する駆動手段と該駆動手段を制御する駆動制御手段とを有する光偏向器において前記複数のねじりバネと前記複数の可動子からなる系が、分離した複数の固有振動モードを有し、該分離した複数の固有振動モードの中に、基準周波数の固有振動モードである基準振動モードと、該基準周波数の略偶数倍の周波数の固有振動モードである偶数倍振動モードが存在することを特徴とするマイクロ揺動体。

IPC (3件)：

G02B26/08 , B81B3/00 , G02B26/10

FI (3件)：

G02B26/08 E , B81B3/00 , G02B26/10 104Z

Fターム (12件)：

2H041AA12 , 2H041AB14 , 2H041AC05 , 2H041AZ02 , 2H045AB03 , 2H045AB06 , 2H045AB24 , 2H045AB33 , 2H045AB38 , 2H045AB73 , 2H045CA63 , 2H045DA02

引用特許：

出願人引用 (7件)

特開昭57-8520号公報
光走査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-032185 出願人：ブラザー工業株式会社
光走査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-032186 出願人：ブラザー工業株式会社

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審査官引用 (2件)

ねじり振動子および光偏向子
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-291839 出願人：富士電機株式会社
光偏向子
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-168206 出願人：富士電機株式会社

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