特許
J-GLOBAL ID：200903091565014464

Aサイト層状秩序化型ペロブスカイトMn酸化物薄膜の製造方法

発明者：
中島 智彦

中島 智彦 について

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土屋 哲男

土屋 哲男 について

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熊谷 俊弥

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出願人/特許権者：
独立行政法人産業技術総合研究所

独立行政法人産業技術総合研究所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-349693
公開番号（公開出願番号）：特開2008-156188
出願日： 2006年12月26日
公開日（公表日）： 2008年07月10日
要約：
【課題】基板上に結晶化したAサイト秩序型ペロブスカイトMn酸化物の薄膜形成を可能にする製造方法を提供する。【解決手段】基板上に形成された組成式RBaMn2O6-d(RイオンとBaイオンはペロブスカイト型構造(AMnO3型))のAサイトを占め、層状に交互に規則配列した結晶構造を持つことを特徴とするAサイト層状秩序ペロブスカイト型マンガン酸化物(式中、RはY, La, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Dy, Tb, Hoの少なくとも1種類より選ばれる3価イオンであり、さらに、BaはCaやSrによって一部置換されていても良く、MnサイトにはCrやRu等の金属イオンが微量置換されていても良い。) から成る薄膜を形成させる方法において、上記物質の各構成元素を含む有機金属薄膜を、熱分解してアモルファス化させた後、不活性気体中で、500°C〜800°Cの温度に保持し、紫外レーザを照射して結晶化させることを特徴とするAサイト層状秩序型ペロブスカイトマンガン酸化物薄膜の製造方法。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
基板上に形成された組成式RBaMn2O6-d(RイオンとBaイオンはペロブスカイト型構造(AMnO3型)のAサイトを占め、層状に交互に規則配列した結晶構造を持つことを特徴とするAサイト層状秩序ペロブスカイト型マンガン酸化物(式中、RはY, La, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Dy, Tb, Hoの少なくとも1種類より選ばれる3価イオンであり、RとBaの比(R/Ba)は0.5〜2.0の範囲であり、R/Ba=1.0からずれた場合は多く入った方が、もう一方のサイトに固溶していても良く、さらに、BaはCaやSrによって一部置換されていても良く、MnサイトにはCrやRu等の金属イオンが微量置換されていても良い。dは0〜1の範囲をとる。) から成る薄膜を形成させる方法において、上記物質の各構成元素を含む有機金属薄膜を基板上に塗布し、熱分解させてアモルファス化させた後、不活性気体中で、500°C〜800°Cの温度に保持し、紫外レーザを照射しつつ、結晶化することを特徴とするAサイト層状秩序型ペロブスカイトマンガン酸化物薄膜の製造方法。
IPC (1件)：
C01G 45/00
FI (1件)：
C01G45/00
Fターム (6件)：
4G048AA05 ,  4G048AB02 ,  4G048AC03 ,  4G048AD02 ,  4G048AD08 ,  4G048AE08
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (6件)
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