特許
J-GLOBAL ID:200903091678474097 水素ガス検知膜及び水素ガスセンサ
発明者:
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出願人/特許権者: 代理人 (3件):
岩橋 文雄
, 坂口 智康
, 内藤 浩樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-149991
公開番号(公開出願番号):特開2005-331364
出願日: 2004年05月20日
公開日(公表日): 2005年12月02日
要約:
【課題】高感度かつ高速応答性を有する水素ガス検知膜を用いた水素ガスセンサ【解決手段】絶縁基板上に設けられた一対の電極20上に、水素ガスを解離して発生されるプロトンが注入されて還元され或いは前記プロトンが脱離されて酸化されることにより電気抵抗が変化する所定の膜厚の検知膜10を有する水素ガスセンサであって、前記検知膜10は、酸化タングステンを主成分とする結晶微粒子の集合体で構成され、前記結晶微粒子酸化タングステン1の表面に酸化状態の触媒金属を含有する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
水素ガスを解離して生成されるプロトンが注入されて還元され或いは前記プロトンが脱離されて酸化されることにより電気抵抗が変化する水素ガス検知膜であって、
前記検知膜は、酸化タングステンを主成分とする結晶微粒子の集合体で構成され、前記結晶微粒子酸化タングステンの表面に酸化状態の触媒金属を含有することを特徴とする水素ガス検知膜。
IPC (1件): FI (1件): Fターム (24件):
2G046AA05
, 2G046BA01
, 2G046BA09
, 2G046EA08
, 2G046FB00
, 2G046FB02
, 2G046FE09
, 2G046FE10
, 2G046FE11
, 2G046FE12
, 2G046FE16
, 2G046FE21
, 2G046FE22
, 2G046FE24
, 2G046FE25
, 2G046FE26
, 2G046FE29
, 2G046FE31
, 2G046FE33
, 2G046FE34
, 2G046FE35
, 2G046FE44
, 2G046FE45
, 2G046FE46
引用特許: 出願人引用 (4件) -
特開昭57-74648号公報
-
特許第1799658号公報
- 可燃性ガスを検出するセンサ
公報種別:公表公報
出願番号:特願平8-519405
出願人:ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
-
特開昭62-257047号公報
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