特許
J-GLOBAL ID：200903092462875271

付着膜回収装置および付着膜の回収方法

発明者：
澤江 清

澤江 清 について

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迫野 郁夫

迫野 郁夫 について

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咲花 由和

咲花 由和 について

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岡 博史

岡 博史 について

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山本 圭三

山本 圭三 について

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上野 睦弘

上野 睦弘 について

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上野 龍三

上野 龍三 について


出願人/特許権者：
シャープ株式会社

シャープ株式会社 について

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栗田エンジニアリング株式会社

栗田エンジニアリング株式会社 について


代理人 (1件)： 原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-097306
公開番号（公開出願番号）：特開2002-292346
出願日： 2001年03月29日
公開日（公表日）： 2002年10月08日
要約：
【要約】【課題】 金属または金属化合物の付着膜を有する成膜治具から、上記付着膜を経済的にリサイクル可能とし、かつ、成膜治具の研削量が少なく、廃棄物の発生量が抑制された付着膜の回収方法および付着膜回収装置を提供する。【解決手段】 作業室22内のテーブル26上に載置された、付着膜を有する成膜治具25に対し、水圧30MPa〜200MPaの範囲のウォータジェットを上記付着膜に対し発生する洗浄ガン51を設ける。作業室22内を陰圧に設定するための排気ファン62を設ける。作業室22をウォータジェットによる飛沫の外部への飛散を抑制するように密封可能に設ける。
請求項（抜粋）：
作業室内の保持台に載置された、付着膜を有する成膜治具に対し、ウォータジェットを用いて上記付着膜を成膜治具から回収する付着膜回収装置において、ウォータジェットのための高圧水を発生するための高圧水発生部が、水圧を30MPa〜200MPaの範囲で発生するように設けられ、作業室がウォータジェットによる飛沫の外部への飛散を抑制するように密封可能に設定されていることを特徴とする付着膜回収装置。
IPC (4件)：
B08B 3/02 ,  B01J 19/00 ,  C23C 14/00 ,  C23C 16/44
FI (4件)：
B08B 3/02 A ,  B01J 19/00 K ,  C23C 14/00 B ,  C23C 16/44 J
Fターム (48件)：
3B201AA46 ,  3B201AB01 ,  3B201AB34 ,  3B201BB22 ,  3B201BB32 ,  3B201BB43 ,  3B201BB55 ,  3B201BB90 ,  3B201BB92 ,  3B201BB93 ,  3B201CB01 ,  3B201CD11 ,  3B201CD36 ,  4G075AA24 ,  4G075AA51 ,  4G075AA57 ,  4G075BB05 ,  4G075BC01 ,  4G075BC03 ,  4G075BC04 ,  4G075BD16 ,  4G075CA05 ,  4G075CA65 ,  4G075CA80 ,  4G075DA01 ,  4G075DA02 ,  4G075EC01 ,  4K029BA10 ,  4K029BA16 ,  4K029BD00 ,  4K029BD01 ,  4K029CA01 ,  4K029CA03 ,  4K029CA05 ,  4K029DA10 ,  4K029GA00 ,  4K029HA02 ,  4K029KA02 ,  4K030BA11 ,  4K030BA17 ,  4K030BA42 ,  4K030CA06 ,  4K030DA08 ,  4K030KA12 ,  4K030KA46 ,  4K030LA15 ,  4K030LA16 ,  4K030LA18
引用特許：
審査官引用 (13件)
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