特許
J-GLOBAL ID:200903092834506375
高純度非磁性金属酸化物粉末及びその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
金田 暢之
, 伊藤 克博
, 石橋 政幸
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-165621
公開番号(公開出願番号):特開2004-010420
出願日: 2002年06月06日
公開日(公表日): 2004年01月15日
要約:
【課題】封止材用フィラーとして用いた場合、ワイヤー間に詰まり電気的なショートを発生させる問題がない高純度非磁性金属酸化物粉末を提供すること。【解決手段】上記課題は、高純度非磁性金属酸化物粉末中の粒径が20μm以上である異物粒子の含有量が100個/kg以下とすることによって達成される。なお、高純度非磁性金属酸化物粉末を磁力1000ガウス以上の磁石に接触させることにより、異物粒子を除去できる。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
粒径が20μm以上である異物粒子の含有量が100個/kg以下であることを特徴とする高純度非磁性金属酸化物粉末。
IPC (5件):
C01B33/154
, C08K3/22
, C08L101/00
, H01L23/29
, H01L23/31
FI (4件):
C01B33/154
, C08K3/22
, C08L101/00
, H01L23/30 R
Fターム (25件):
4G072AA25
, 4G072AA28
, 4G072CC10
, 4G072DD04
, 4G072DD05
, 4G072QQ20
, 4G072TT01
, 4G072TT05
, 4G072TT19
, 4G072UU01
, 4J002AA00
, 4J002DE04
, 4J002DJ01
, 4J002FA00
, 4J002FB26
, 4J002FD01
, 4J002GQ00
, 4J002GQ01
, 4M109AA01
, 4M109BA03
, 4M109CA05
, 4M109EA03
, 4M109EB13
, 4M109EB16
, 4M109EC07
引用特許:
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