特許
J-GLOBAL ID：200903093720066509
直線運動ステージ、複合ステージ、直線運動ステージ用ガイド及び可動部材
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
阿仁屋 節雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-328508
公開番号（公開出願番号）：特開2002-130269
出願日： 2000年10月27日
公開日（公表日）： 2002年05月09日
要約：
【要約】【課題】 高精度な位置決めが可能で、透過性を有する透明ステージを得る。【解決手段】 ベース1の平面に固定したガイドブロック2に中空矩形枠状のスライダ3を挿通して、スライダ3を直線運動自在に設ける。スライダ3、ガイドブロック2及びガラススケール6を熱膨張係数の小さな透明の石英ガラスで構成する。スライダ3の駆動源に高精度な位置決め可能なリニアモータ4を使う。ガイドブロック2に対するスライダ3の支持には、空気などの流動圧を使う非接触型の静圧ガス軸受11で行う。
請求項（抜粋）：
ガイドに案内されて直線運動する可動部材を備えた直線運動ステージにおいて、前記可動部材及び前記ガイドを石英ガラス又は結晶化ガラスで構成したことを特徴とする直線運動ステージ。
IPC (3件)：
F16C 29/02
, F16C 32/06
, F16C 33/24
F16C 29/02
, F16C 32/06 A
, F16C 33/24 Z
3J011PA10
, 3J011QA20
, 3J011SE10
, 3J102AA02
, 3J102BA06
, 3J102CA11
, 3J102EA02
, 3J102EA06
, 3J102EA07
, 3J102EB01
, 3J102EB05
, 3J102FA30
, 3J102GA01
, 3J102GA20
, 3J104AA44
, 3J104AA67
, 3J104AA69
, 3J104AA70
, 3J104AA73
, 3J104AA74
, 3J104AA75
, 3J104AA76
, 3J104AA77
, 3J104AA79
, 3J104BA05
, 3J104BA53
, 3J104BA80
, 3J104CA40
, 3J104DA13
, 3J104EA02
, 3J104EA07
