圧電体とその製造方法、圧電素子とそれを用いた液体吐出ヘッド及び液体吐出装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (3件)：宮崎昭夫 , 石橋政幸 , 緒方雅昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-227051
公開番号（公開出願番号）：特開2007-088443
出願日： 2006年08月23日
公開日（公表日）： 2007年04月05日
要約：

【課題】大きな圧電性を有する圧電体、その製造方法及び圧電素子並びにそれを用いた均一で高い吐出性能を示し、微細なパターニングを行うことが可能な液体吐出ヘッド及び液体吐出装置を提供する。【解決手段】単結晶または1軸配向結晶の圧電体であり、該圧電体の単位格子の3つの格子長さa、b、cが、それぞれ同温度かつ同組成のバルク状単結晶体の単位格子の格子長さa0、b0、c0より小さく、かつ前記圧電体の単位格子の体積が、同温度かつ同組成のバルク単結晶体の単位格子の体積より小さいことを特徴とする圧電体。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

単結晶または1軸配向結晶の圧電体であり、該圧電体の単位格子の3つの格子長さa、b、cが、それぞれ同温度かつ同組成のバルク状単結晶体の単位格子の格子長さa0、b0、c0より小さく、かつ前記圧電体の単位格子の体積が、同温度かつ同組成のバルク状単結晶体の単位格子の体積より小さいことを特徴とする圧電体。

IPC (7件)：

H01L 41/09 , H01L 41/18 , H01L 41/24 , C23C 14/08 , B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16

FI (8件)：

H01L41/08 C , H01L41/08 U , H01L41/08 J , H01L41/18 101Z , H01L41/22 A , C23C14/08 K , B41J3/04 103A , B41J3/04 103H

Fターム (37件)：

2C057AF33 , 2C057AF51 , 2C057AF93 , 2C057AG14 , 2C057AG44 , 2C057AG99 , 2C057AP02 , 2C057AP14 , 2C057AP51 , 2C057BA04 , 2C057BA14 , 4K029AA04 , 4K029AA24 , 4K029BA50 , 4K029BB07 , 4K029BB09 , 4K029BC00 , 4K029BD00 , 4K029CA06 , 4K029DC16 , 4K029DC35 , 4K029DC39 , 4K029EA08 , 4K030AA11 , 4K030AA14 , 4K030AA18 , 4K030BA01 , 4K030BA13 , 4K030BA18 , 4K030BA42 , 4K030BB02 , 4K030CA05 , 4K030CA17 , 4K030EA03 , 4K030FA10 , 4K030HA04 , 4K030LA01

引用特許：

出願人引用 (1件)

特許第3397538号公報

審査官引用 (9件)

圧電体薄膜素子およびその製造方法、ならびにこれを用いた液体吐出ヘッド及び液体吐出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-204576 出願人：セイコーエプソン株式会社
強誘電体薄膜素子およびその製造方法、ならびにこれを用いたインクジェット記録ヘッド及びインクジェットプリンタ
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-221213 出願人：セイコーエプソン株式会社
圧電素子、圧電アクチュエーター、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、薄膜圧電共振器、及び電子機器
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-017108 出願人：セイコーエプソン株式会社

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