特許
J-GLOBAL ID：200903094186837924

感光性エレメント、及びこれを用いたレジストパターンの製造法

発明者：
村上 泰治

村上 泰治 について


出願人/特許権者：
日立化成工業株式会社

日立化成工業株式会社 について


代理人 (1件)： 津国 肇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-289570
公開番号（公開出願番号）：特開2003-098663
出願日： 2001年09月21日
公開日（公表日）： 2003年04月04日
要約：
【要約】【課題】 重合速度が良好で、かつ解像度及び細線密着性に優れ、特にUV(紫外光)レーザの走査露光に好適な感光性エレメントを提供する。【解決手段】 感光性樹脂組成物層が、バインダーポリマーと、分子内に少なくとも1つのエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物と、光重合開始剤とを含有し、該感光性樹脂組成物層の波長365nmの光に対する吸光度が0.15〜0.8である感光性エレメント。
請求項（抜粋）：
ベースフィルム上に感光性樹脂組成物層を積層した感光性エレメントにおいて、(1)該感光性樹脂組成物層が、バインダーポリマーと、分子内に少なくとも1つのエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物と、光重合開始剤とを含有し、(2)該感光性樹脂組成物層の波長365nmの光に対する吸光度が0.15〜0.8である、感光性エレメント。
IPC (4件)：
G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 502 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/18
FI (4件)：
G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 502 ,  H05K 3/06 J ,  H05K 3/18 D
Fターム (22件)：
2H025AA01 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC43 ,  2H025BC83 ,  2H025CA03 ,  2H025CA27 ,  2H025CA28 ,  2H025CA48 ,  2H025CB16 ,  2H025FA10 ,  5E339CC01 ,  5E339CD01 ,  5E339DD03 ,  5E343CC62 ,  5E343ER11 ,  5E343ER45 ,  5E343GG11
引用特許：
審査官引用 (9件)
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