特許
J-GLOBAL ID：200903094625575702

検査用ガスの混合装置および混合方法

発明者：
高橋 秀美

高橋 秀美 について

, 
柴 健一郎

柴 健一郎 について

, 
西村 清矢

西村 清矢 について


出願人/特許権者：
ヤマハファインテック株式会社

ヤマハファインテック株式会社 について


代理人 (1件)： 大庭 咲夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-237227
公開番号（公開出願番号）：特開2003-047837
出願日： 2001年08月06日
公開日（公表日）： 2003年02月18日
要約：
【要約】【課題】 検査用ガスを精度よく設定濃度にすることができ、また、その検査用ガスを補充する際もその濃度を設定濃度に維持したり、異なる設定濃度にしたりすることのできる検査用ガスの混合装置および混合方法を提供すること。【解決手段】 混合タンク11に連結されたヘリウムガス配送管12の開閉バルブ12aと空気配送管13の開閉バルブ13a、混合タンク11に接続された圧力計14、ヘリウムガス配送管12に接続されたヘリウムガス積算計16aおよび空気配送管13に接続された空気積算計18aをシーケンサ17に接続した。そして、シーケンサ17で、圧力計14、ヘリウムガス積算計16aおよび空気積算計18aの測定に応じて、ヘリウムガス配送管12および空気配送管13から混合タンク11に供給されるヘリウムガス及び空気の量を制御するようにした。
請求項（抜粋）：
検査用高濃度ガスと希釈用ガスを混合してなる検査用ガスを収容するタンクと、前記タンクに検査用高濃度ガスを供給する検査用高濃度ガス供給手段と、前記タンクに希釈用ガスを供給する希釈用ガス供給手段と、前記タンク内の圧力を測定する圧力計と、前記検査用高濃度ガス供給手段、前記希釈用ガス供給手段および前記圧力計に接続され、前記圧力計の測定結果に応じて、前記検査用高濃度ガス供給手段および前記希釈用ガス供給手段から前記タンクに供給される検査用高濃度ガスおよび希釈用ガスの量を制御する制御手段と、を備えた検査用ガスの混合装置において、前記検査用高濃度ガス供給手段と前記制御手段に接続され、前記検査用高濃度ガス供給手段から前記タンクに供給される検査用高濃度ガス量を測定し、その測定結果を前記制御手段に送信する検査用高濃度ガス流量計を設けたことを特徴とする検査用ガスの混合装置、
IPC (3件)：
B01F 15/04 ,  B01F 3/02 ,  G01M 3/20
FI (3件)：
B01F 15/04 A ,  B01F 3/02 ,  G01M 3/20 Z
Fターム (14件)：
2G067CC04 ,  2G067CC11 ,  2G067CC13 ,  2G067DD02 ,  2G067DD04 ,  4G035AB01 ,  4G035AE02 ,  4G035AE13 ,  4G035AE19 ,  4G037BA02 ,  4G037BB06 ,  4G037BC04 ,  4G037BD01 ,  4G037BD04
引用特許：
出願人引用 (12件)
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審査官引用 (15件)
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