特許
J-GLOBAL ID：200903094667951208
反射防止膜及びそれを施した光学系
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-085005
公開番号（公開出願番号）：特開平11-264902
出願日： 1998年03月16日
公開日（公表日）： 1999年09月28日
要約：
【要約】【課題】 波長300nm以下の紫外光と波長600nmから700nmの間の可視光の2つの波長領域に対して極めて有効かつ良好な反射防止特性を有した反射防止膜及びそれを施した光学系を得ること。【解決手段】 透明な基板上に該基板側から空気側へ順に第1層、第2層、第3層、第4層、第5層の5つの薄膜を施した反射防止膜であって、第1層はAl2 O3 もしくはその混合物からなり、第2層、第4層はHfO2 もしくはその混合物からなり、第3層、第5層はSiO2 もしくはその混合物からなり、Al2 O3 もしくはその混合物の屈折率na、HfO2 もしくはその混合物の屈折率nh、SiO2 もしくはその混合物の屈折率nsを適切に設定すること。
請求項（抜粋）：
透明な基板上に該基板側から空気側へ順に第1層、第2層、第3層、第4層、第5層の5つの薄膜を施した反射防止膜であって、第1層はAl2 O3 もしくはその混合物からなり、第2層、第4層はHfO2 もしくはその混合物からなり、第3層、第5層はSiO2 もしくはその混合物からなり、Al2 O3 もしくはその混合物の屈折率をna、HfO2 もしくはその混合物の屈折率をnh、SiO2 もしくはその混合物の屈折率をnsとした場合、波長が248nmの光に対する屈折率が、1.60≦na≦1.801.95≦nh≦2.251.45≦ns≦1.55を満足することを特徴とする反射防止膜。
IPC (3件)：
G02B 1/11
, B32B 7/02 103
, B32B 9/00
G02B 1/10 A
, B32B 7/02 103
, B32B 9/00 A
