特許
J-GLOBAL ID:200903094850844232
ニオブ酸カリウム堆積体およびその製造方法、表面弾性波素子、周波数フィルタ、周波数発振器、電子回路、ならびに電子機器
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
井上 一
, 布施 行夫
, 大渕 美千栄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-070989
公開番号(公開出願番号):特開2005-260690
出願日: 2004年03月12日
公開日(公表日): 2005年09月22日
要約:
【課題】 絶縁体基板上に多結晶または単結晶の薄いニオブ酸カリウム層が形成されたニオブ酸カリウム堆積体およびその製造方法を提供する。【解決手段】 ニオブ酸カリウム堆積体100は、サファイア基板11と、前記サファイア基板11の上方に形成されたニオブ酸カリウム層13と、を含む。ニオブ酸カリウム堆積体100は、さらに、前記サファイア基板11の上方に形成された、金属酸化物からなるバッファ層12を有し、該バッファ層12の上方に前記ニオブ酸カリウム層13が形成される。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
サファイア基板と、
前記サファイア基板の上方に形成されたニオブ酸カリウム層と、
を含むニオブ酸カリウム堆積体。
IPC (6件):
H03H9/25
, C30B29/30
, H01L41/09
, H01L41/18
, H01L41/24
, H03H9/145
FI (7件):
H03H9/25 C
, C30B29/30 A
, C30B29/30 C
, H03H9/145 C
, H01L41/08 C
, H01L41/22 A
, H01L41/18 101Z
Fターム (19件):
4G077AA03
, 4G077AB02
, 4G077AB07
, 4G077BC31
, 4G077BC40
, 4G077DA03
, 4G077ED05
, 4G077ED06
, 4G077EF02
, 4G077HA05
, 4G077HA11
, 4G077SA04
, 4G077SA06
, 5J097AA06
, 5J097AA29
, 5J097EE08
, 5J097FF01
, 5J097FF05
, 5J097HA03
引用特許:
出願人引用 (1件)
-
弾性表面波基板
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-250777
出願人:山之内和彦
審査官引用 (7件)
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