特許
J-GLOBAL ID:200903095355851768

オクタフルオロシクロペンテン測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 西川 慶治 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-262002
公開番号(公開出願番号):特開2003-075342
出願日: 2001年08月30日
公開日(公表日): 2003年03月12日
要約:
【要約】【課題】 フッ素系溶媒ガスの存在に関わりなく、管理濃度程度のオクタフルオロシクロペンテンを高い選択性で測定すること。【解決手段】 熱分解促進性を有し、オクタフルオロシクロペンテンから酸性ガスを発生させる酸化触媒2が充填された第1の熱分解炉1と、フッ素系洗浄剤のガスを熱分解して酸性ガスを発生させる第2の熱分解炉11と、第1、第2の熱分解炉1、11との酸性ガスの濃度の差分を検出する酸性ガス検出装置9、19とを備え、第1と第2の熱分解炉1、11から酸性ガスの濃度差を検出する。
請求項(抜粋):
熱分解促進性を有し、オクタフルオロシクロペンテンから酸性ガスを発生させる酸化触媒が充填された第1の熱分解手段と、フッ素系洗浄剤のガスを熱分解して酸性ガスを発生させる第2の熱分解手段と、第1の熱分解手段と第2の熱分解手段との酸性ガスの濃度の差分を検出する酸性ガス検出手段とからなるオクタフルオロシクロペンテン測定装置。
IPC (5件):
G01N 21/47 ,  G01N 21/01 ,  G01N 31/10 ,  G01N 31/22 121 ,  G01N 27/416
FI (5件):
G01N 21/47 Z ,  G01N 21/01 Z ,  G01N 31/10 ,  G01N 31/22 121 C ,  G01N 27/46 311 G
Fターム (26件):
2G042AA01 ,  2G042BD02 ,  2G042CA01 ,  2G042CB01 ,  2G042DA05 ,  2G042DA07 ,  2G042DA08 ,  2G042FA08 ,  2G042FA11 ,  2G042FB04 ,  2G042FB07 ,  2G042FC01 ,  2G042GA01 ,  2G042HA07 ,  2G059AA01 ,  2G059BB01 ,  2G059CC20 ,  2G059DD02 ,  2G059DD03 ,  2G059DD12 ,  2G059DD16 ,  2G059EE02 ,  2G059FF12 ,  2G059HH02 ,  2G059KK01 ,  2G059NN01
引用特許:
審査官引用 (6件)
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