特許
J-GLOBAL ID：200903095424107740
平面光導波回路およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
五十嵐 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-338235
公開番号（公開出願番号）：特開2003-139981
出願日： 2001年11月02日
公開日（公表日）： 2003年05月14日
要約：
【要約】【課題】 光透過中心波長が設定波長に近い平面光導波回路を製造可能とする。【解決手段】 一定回転角速度で回転するターンテーブル5上の回転中心Cを中心とした円周位置に基板11を配置し、ターンテーブル5を回転させながらバーナ6をターンテーブル5の径方向に往復移動して基板11上を往復させ、バーナ6から噴出するガス等により形成されるクラッドとコアの微粒子を基板11上に堆積する。コアにより2本以上の光導波路(例えばチャンネル導波路14a)を備えた位相部を持つ回路を形成し、位相部中央部における光導波路並設方向を上下方向、該上下方向に直交する方向を左右方向としたとき、位相部の最上端と最下端との距離および位相部の最右端と最左端との距離のうち距離が短い方の方向をターンテーブル5の径方向とほぼ一致させ、下部クラッド、コア、上部クラッドのガラス微粒子の少なくとも一つのガラス微粒子の堆積を行なう。
請求項（抜粋）：
一定の回転角速度で回転するターンテーブル上のテーブル回転中心を中心とした円周位置に基板を1つ以上配列配置し、前記ターンテーブルを回転させると共にバーナを前記ターンテーブルの径方向に往復移動して前記基板上を往復させながら、前記バーナからガラスの原料ガスと酸素ガスと水素ガスを流して酸素水素火炎中で前記原料ガスの加水分解反応を起こし、前記基板上に下部クラッドガラス微粒子とコアガラス微粒子と上部クラッドガラス微粒子を堆積し、前記コアガラス微粒子から成るコアによって、互いに間隔を介して並設した2本以上の光導波路を備えた位相部を有する回路を形成する平面光導波回路の製造方法であって、前記平面光導波回路の位相部中央部における光導波路並設方向を上下方向とし、該上下方向に直交する方向を左右方向としたとき、前記位相部の最上端と最下端との距離および位相部の最右端と最左端との距離のうち距離が短い方の方向を前記ターンテーブルの径方向とほぼ一致させて、前記下部クラッドガラス微粒子と前記コアガラス微粒子と前記上部クラッドガラス微粒子の少なくとも一つのガラス微粒子の堆積を行なうことを特徴とする平面光導波回路の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 6/12 M
, G02B 6/12 F
2H047KA04
, 2H047LA19
, 2H047PA05
, 2H047PA26
, 2H047QA04
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (2件)
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