特許
J-GLOBAL ID：200903095940098447

グレートーンマスク及びその製造方法

発明者：
野津手 重徳

野津手 重徳 について


出願人/特許権者：
ホーヤ株式会社

ホーヤ株式会社 について


代理人 (1件)： 藤村 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-386093
公開番号（公開出願番号）：特開2002-189281
出願日： 2000年12月19日
公開日（公表日）： 2002年07月05日
要約：
【要約】【課題】 半透光膜の膜厚の均一性が高いグレートーンマスクを容易に得ることができる製造方法等を提供する。【解決手段】 例えば、透明基板11上に、半透光膜12(CrO等)、エッチングストッパー膜13(SiO2等)、遮光膜14(Cr等)、レジスト膜15を順次形成し、透光部を形成すべき部分(エリアC)上のレジスト膜15を除去してこの部分上の遮光膜14及びエッチングストッパー膜13を除去し、次いで、半透光部を形成すべき部分(エリアA)上のレジストを除去してこの部分上の遮光膜14を除去して半透光部を形成し、エリアC上の半透光膜12を除去して透光部を形成して、グレートーンマスクを製造する。
請求項（抜粋）：
遮光部と、透光部と、露光光の一部を透過するグレートーン部とを有するグレートーンマスクにおいて前記遮光部が、透明基板上に順次形成された半透光膜、エッチングストッパー膜、遮光膜を含み、前記グレートーン部が、前記透明基板上に形成された半透光膜あるいは半透光膜及びエッチングストッパー膜を含むことを特徴とするグレートーンマスク。
IPC (2件)：
G03F 1/08 ,  G03F 7/20 501
FI (2件)：
G03F 1/08 A ,  G03F 7/20 501
Fターム (6件)：
2H095BB03 ,  2H095BB14 ,  2H095BC05 ,  2H095BC24 ,  2H097AB09 ,  2H097LA12
引用特許：
審査官引用 (6件)
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