特許
J-GLOBAL ID:200903095981063747
カーボンナノチューブ連結体及びその製造方法、並びに、標的検出素子及び標的検出方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
廣田 浩一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-100656
公開番号(公開出願番号):特開2007-268692
出願日: 2006年03月31日
公開日(公表日): 2007年10月18日
要約:
【課題】標的検出素子、センサー等に好適に用いられ、カーボンナノチューブが一列に配列してなるカーボンナノチューブ連結体及びその効率的な製造方法等の提供。【解決手段】本発明のカーボンナノチューブ連結体は、複数のカーボンナノチューブが、基材にその一端が結合し、該基材に対し略直交する方向に配向し、カーボンナノチューブが配列してなる。本発明のカーボンナノチューブ連結体の製造方法は、金属層上に凹状ラインを形成し、該ライン上に、金属層に対し略直交する方向にナノホールが配列してなるナノホール列を形成してナノホール構造体を形成するナノホール構造体形成工程、ナノホールの内部にカーボンナノチューブを形成するカーボンナノチューブ形成工程、カーボンナノチューブ形成工程により凹状ライン間の凸部表面に付着したカーボンを除去するカーボン除去工程、及び金属層を溶解させる金属層溶解工程を含む。【選択図】図3F
請求項(抜粋):
複数のカーボンナノチューブが、基材にその一端が結合し、該基材に対し略直交する方向に配向し、前記カーボンナノチューブが配列してなることを特徴とするカーボンナノチューブ連結体。
IPC (4件):
B82B 3/00
, G01N 27/30
, C01B 31/02
, G01N 27/327
FI (4件):
B82B3/00
, G01N27/30 B
, C01B31/02 101F
, G01N27/30 353Z
Fターム (15件):
4G146AA07
, 4G146AB08
, 4G146AC03B
, 4G146AD31
, 4G146BA11
, 4G146BA12
, 4G146BA48
, 4G146BB23
, 4G146BC09
, 4G146BC16
, 4G146BC23
, 4G146BC33B
, 4G146BC37B
, 4G146CB15
, 4G146DA03
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (6件)
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引用文献:
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