特許
J-GLOBAL ID：200903096682522952

圧電体素子及びこれを用いたインクジェット式記録ヘッド

発明者：
角 浩二

角 浩二 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 稲葉 良幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-219792
公開番号（公開出願番号）：特開2002-043641
出願日： 2000年07月19日
公開日（公表日）： 2002年02月08日
要約：
【要約】【課題】 大きな変位量を有し、残留変位を少なくすることにより圧電特性の周波数依存性を減じることのできる圧電体素子を提供する。【解決手段】 圧電体膜41と、この圧電体膜41を挟んで配置される下部電極32および上部電極42とを備えた圧電体素子である。この圧電体膜41は、Pb<SB>x</SB>(Zr<SB>y</SB>Ti<SB>1-y</SB>)O<SB>3</SB>で表され、前記xは0.8<x<1の範囲にあり、前記yは0.53≦y<1の範囲にあり、かつ、(111)面優先配向であるか、前記xは0.8<x<1の範囲にあり、前記yは0<y<0.53の範囲にあり、かつ、(100)面優先配向であるかのいずれかである。
請求項（抜粋）：
圧電体膜と、この圧電体膜を挟んで配置される下部電極および上部電極とを備えた圧電体素子であって、前記圧電体膜は、Pb<SB>x</SB>(Zr<SB>y</SB>Ti<SB>1-y</SB>)O<SB>3</SB>で表され、前記xは0.8<x<1の範囲にあり、前記yは0.53≦y<1の範囲にあり、かつ、(111)面優先配向であることを特徴とする圧電体素子。
IPC (7件)：
H01L 41/09 ,  C04B 35/49 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16
FI (7件)：
C04B 35/49 A ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/08 U ,  H01L 41/18 101 D ,  H01L 41/22 Z ,  B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H
Fターム (23件)：
2C057AF02 ,  2C057AG16 ,  2C057AG39 ,  2C057AG44 ,  2C057AG52 ,  2C057AG55 ,  2C057AN01 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP25 ,  2C057AP32 ,  2C057AP34 ,  2C057AP52 ,  2C057AP54 ,  2C057AP56 ,  2C057AP57 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14 ,  4G031AA11 ,  4G031AA32 ,  4G031BA10 ,  4G031CA08
引用特許：
審査官引用 (7件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM