特許

J-GLOBAL ID：200903096775146438

光触針の制御方法

発明者： 渡辺 伸一郎 ,  池田 照樹 ,  大津 元一
出願人/特許権者： 日本分光株式会社 ,  科学技術振興事業団 ,  財団法人神奈川科学技術アカデミー
代理人 (1件)： 岩橋 祐司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-100665
公開番号（公開出願番号）：特開平11-281656
出願日： 1998年03月27日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：

【要約】【課題】本発明の目的は、測定ごとに必要となる位置、光学調整の手間を省き、光触針の振幅の変化を高感度に検出でき、より安価で提供できる方法を提供することにある。【解決手段】被測定物表面と光触針を近接させることによりエバネッセント光を散乱させ、その散乱光より被測定物の情報を得る近接場光学装置において、光触針と被測定物間の距離制御には、シアフォースフィードバックを用いており、光触針の振幅の変化を1つ以上の電極を用いた容量検出型位置検出器によって検出することで、または、トンネル電流検出型位置検出器によって検出することで、或いは、振動検出型位置検出器と光触針を振動させる加振器が一体に形成されており、光触針の加振と、光触針の振幅の検出を一定周期ごとに交互に行う時分割型振動検出方式を用いることで被測定物間の距離制御を行うことを特徴とする光触針の制御方法。

請求項（抜粋）：

被測定物表面と光触針を近接させることによりエバネッセント光を散乱させ、その散乱光より被測定物の情報を得る近接場光学装置において、光触針と被測定物間の距離制御には、光触針を振動させながら被測定物に接近させて行き、光触針と被測定物間の距離を非常に接近させたときに光触針に対して作用するシアフォースによって光触針の振動が制振されることを用いて、光触針の振幅の変化を検出することで、光触針と被測定物間の距離制御を行う、シアフォースフィードバックを用いており、光触針の振幅の変化を一つ以上の電極を用いた容量検出型位置検出器によって検出することで、光触針と被測定物間の距離制御を行うことを特徴とする光触針の制御方法。

IPC (5件)：

G01N 37/00 ,  G01H 1/00 ,  G01M 11/00 ,  G01N 21/27 ,  G05D 3/00

FI (5件)：

G01N 37/00 D ,  G01H 1/00 V ,  G01M 11/00 T ,  G01N 21/27 C ,  G05D 3/00 B

引用特許：

審査官引用 (12件)

• ニアフィールド光学顕微装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-118369   出願人：河田聡, 株式会社ユニソク
• 特開平3-096857
  
• 電圧・変位検出プローブ及びこれを用いた電圧・変位測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-292036   出願人：富士通株式会社, 株式会社アドバンテスト
• 表面観察方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-156072   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 走査型近視野原子間力顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-032396   出願人：セイコー電子工業株式会社
• 特開昭63-309802
  
• 連成オシレータ走査イメージャー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-245003   出願人：ドクターカレドカライウントドクターミレスハイネスゲゼルシャフトビュルガーリッヘンレヒツミットベシュレンクテルハフツンク
• プローブ位置制御装置および近接場光学顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-323174   出願人：富士写真フイルム株式会社
• 特開昭62-130302
  
• 特開平4-198702
  
• 記録再生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-305450   出願人：キヤノン株式会社
• 情報記録再生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-190413   出願人：キヤノン株式会社