特許
J-GLOBAL ID：200903096857162474
試料検査装置、被検査試料の画像位置合わせ方法及びプログラム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
松山 允之
, 河西 祐一
, 池上 徹真
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-082318
公開番号（公開出願番号）：特開2006-267250
出願日： 2005年03月22日
公開日（公表日）： 2006年10月05日
要約：
【目的】 アライメントに要する時間を短縮し、全体の検査時間を短縮する方法および検査装置を提供することを目的とする。【構成】 Y方向に仮想分割されたフォトマスク101の複数の検査ストライプの各検査ストライプごとに、前記Y方向と直行するX方向に向かって複数のエリアを設定するエリア切り出し回路215と、各検査ストライプごとにX方向に移動しながらフォトマスク101の光学画像を取得するセンサ回路106等と、エリアごとに、光学画像と、比較対象となる参照画像との位置合わせを行なう位置合わせ回路216と、位置合わせされた前記光学画像と参照画像との比較を行なう比較判定処理回路218と、を備え、前記エリア切り出し回路215において、既に以前に位置合わせされた検査ストライプでの各エリアにおける光学画像と参照画像との位置ずれ量に基づいて、次回の検査ストライプにおける各エリアを設定することを特徴とする。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
Y方向に仮想分割された被検査試料の複数の検査領域の各検査領域ごとに、前記Y方向と直行するX方向に向かって複数の比較領域を設定する比較領域設定部と、
前記複数の検査領域の各検査領域ごとにX方向に移動しながら前記被検査試料の光学画像を取得する光学画像取得部と、
前記複数の比較領域の各比較領域ごとに、前記被検査試料の光学画像と、比較対象となる参照画像との位置合わせを行なう位置合わせ部と、
位置合わせされた前記光学画像と参照画像との比較を行なう比較部と、
を備え、
前記比較領域設定部において、前記位置合わせ部により既に以前に位置合わせされた検査領域での各比較領域における光学画像と参照画像との位置ずれ量に基づいて、次回の検査領域における複数の比較領域を設定することを特徴とする試料検査装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (14件)：
2G051AA51
, 2G051AA56
, 2G051AB02
, 2G051CA03
, 2G051CB02
, 2G051DA08
, 2G051DA09
, 2G051EB09
, 2G051ED02
, 2G051ED04
, 2H095BA12
, 2H095BD02
, 2H095BD13
, 2H095BD28
出願人引用 (3件)
審査官引用 (5件)
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