特許
J-GLOBAL ID：200903097449421646
多層膜反射鏡及び多層膜反射鏡の再生方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-062868
公開番号（公開出願番号）：特開2002-267799
出願日： 2001年03月07日
公開日（公表日）： 2002年09月18日
要約：
【要約】【課題】 X線照明装置のメンテナンス費用を低く抑えることができる多層膜反射鏡の再生方法を提供する。【解決手段】 屈折率の異なる少なくとも2種類以上の物質が交互に積層された多層膜構造が基板上に形成された多層膜反射鏡において、前記多層膜反射鏡の劣化した光学性能を回復させるために、前記基板上に形成された多層膜を表面から所望の量だけ除去することを特徴とする多層膜反射鏡の再生方法とした。
請求項（抜粋）：
屈折率の異なる少なくとも2種類以上の物質が交互に積層された多層膜構造が基板上に形成された多層膜反射鏡において、前記多層膜反射鏡の劣化した光学性能を回復させるために、前記基板上に形成された多層膜を表面から所望の量だけ除去することを特徴とする多層膜反射鏡の再生方法。
FI (3件)：
G21K 1/06 D
, G21K 1/06 C
, G21K 1/06 G
