制御雰囲気下で基板を輸送するための装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：川口義雄 , 小野誠 , 大崎勝真 , 坪倉道明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-117818
公開番号（公開出願番号）：特開2005-311361
出願日： 2005年04月15日
公開日（公表日）： 2005年11月04日
要約：

【課題】制御雰囲気下で基板を輸送するための装置を提供する。【解決手段】基板3を輸送するための本発明の装置は、移動可能であり、調整ステーション22に結合されうるミニエンバイロンメント密封容器1を備える。ミニエンバイロンメント密封容器1は、入口が輸送される基板3を収容する内部空洞2に接続されるマイクロポンプ12を含む。マイクロポンプ12に動力を与えるために、ミニエンバイロンメント密封容器1にエネルギー供給源16も設けられる。ミニエンバイロンメント密封容器1は、対向する2つの主面5、6に対して開放され、閉鎖可能な側方開口部7を含む周辺外板4を備える。第1の主壁8が、漏れが防止される方法で第1の主面5を閉鎖するように嵌合される。第2の主壁9が、漏れが防止される方法で第2の主面6を閉鎖するように嵌合される。第1および第2の主壁は、基板を含む平面に平行な平面に配置される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

制御雰囲気下で基板を輸送するための装置であって、該装置が、内部空洞を有するミニエンバイロンメント密封容器と、互いに対向する第1の主面および第2の主面に対して開放された周辺外板と、第1の主壁と、第2の主壁とを備え、周辺外板が、基板を挿入しかつ取り出すための閉鎖可能な側方開口部をさらに含み、第1の主壁が、基板の活性面の方向に応じて、第1および第2の主面のいずれかに嵌合および固定され、かつ主面のいずれかを漏れが防止される方法で閉鎖するように成形され、第2の主壁が、基板の活性面の方向に応じて、第1および第2の主面のいずれかに嵌合および固定され、かつ主面のいずれかを漏れが防止される方法で閉鎖するように成形され、第1および第2の主壁が、基板を含む平面に平行な平面に配置され、ミニエンバイロンメント密封容器が、ミニエンバイロンメント密封容器の内部空洞に制御真空を維持するために、ミニエンバイロンメント密封容器の内部空洞に接続された入口を有する搭載ポンピング手段をさらに備える装置。

IPC (2件)：

H01L21/68 , B65G49/07

FI (2件)：

H01L21/68 T , B65G49/07 L

Fターム (16件)：

5F031CA02 , 5F031DA12 , 5F031EA14 , 5F031EA19 , 5F031EA20 , 5F031FA01 , 5F031FA07 , 5F031GA09 , 5F031GA37 , 5F031NA03 , 5F031NA05 , 5F031NA07 , 5F031NA14 , 5F031NA20 , 5F031PA26 , 5F031PA30

引用特許：

出願人引用 (9件)

仏国特許出願公開第04/50751号明細書
欧州特許出願公開第0692816号明細書
欧州特許出願公開第1107292号明細書

全件表示

審査官引用 (8件)

特開平3-270049
減圧容器内におけるダスト回収方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-066329 出願人：日本原子力研究所
特開平3-077313

全件表示

前のページに戻る