特許
J-GLOBAL ID:200903097506751356
接着シート
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (6件):
三好 秀和
, 岩▲崎▼ 幸邦
, 川又 澄雄
, 伊藤 正和
, 高橋 俊一
, 高松 俊雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-260246
公開番号(公開出願番号):特開2009-124115
出願日: 2008年10月07日
公開日(公表日): 2009年06月04日
要約:
【課題】圧着実装のみで配線に起因する凹凸を埋め込むことができ、高耐熱性と高耐湿性を有し、半導体素子製造工程内での素子の反りを低減できる接着シートを提供する。【解決手段】 硬化前の80°Cでの溶融粘度が500〜28000Pa・sであり、有機基板への接着力が2MPa以上である半導体用接着シートであって、120°Cで1時間加熱した後の120°Cでのずり貯蔵弾性率が1MPa以下である接着シートとする。【選択図】図1
請求項(抜粋):
硬化前の80°Cでの溶融粘度が500〜28000Pa・sであり、120°Cで1時間加熱した後の120°Cでのずり貯蔵弾性率が1MPa以下であり、凹凸のある有機基板の該凹凸を120°C/0.1MPa/1sの圧着条件で埋め込む接着シート。
IPC (6件):
H01L 21/52
, C09J 7/00
, C09J 163/02
, C09J 11/04
, C09J 161/06
, C09J 133/14
FI (6件):
H01L21/52 E
, C09J7/00
, C09J163/02
, C09J11/04
, C09J161/06
, C09J133/14
Fターム (41件):
4J004AA10
, 4J004AA12
, 4J004AA13
, 4J004AA18
, 4J004AB05
, 4J004BA02
, 4J004CE01
, 4J004EA05
, 4J004FA05
, 4J004FA08
, 4J040DF001
, 4J040DF002
, 4J040DF041
, 4J040DF042
, 4J040EB062
, 4J040EC061
, 4J040EC382
, 4J040GA11
, 4J040GA19
, 4J040HA136
, 4J040HA306
, 4J040HB36
, 4J040HC24
, 4J040JA09
, 4J040JB02
, 4J040KA03
, 4J040KA16
, 4J040KA17
, 4J040KA42
, 4J040LA01
, 4J040LA02
, 4J040LA06
, 4J040LA08
, 4J040MA02
, 4J040MA04
, 4J040MA05
, 4J040MA10
, 4J040NA20
, 5F047BA34
, 5F047BA51
, 5F047BB03
引用特許:
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (8件)
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