特許
J-GLOBAL ID:200903097599993133
円筒内周面の周期構造体加工方法と円筒内周面の周期構造体加工装置
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
石垣 達彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-037963
公開番号(公開出願番号):特開2008-200698
出願日: 2007年02月19日
公開日(公表日): 2008年09月04日
要約:
【課題】 円筒ワークの円筒内周面に特化して周期構造(微細周期性溝やディンプル)の規則性形状を狂わせることなく高精度に整列加工できるようにした円筒内周面の周期構造加工方法とその装置を提供する。【解決手段】 直線偏光のフェムト秒レーザを回転可能に設けられた第一回転筒体41内に導き、第一回転筒体内に配置したλ/2板により直線偏光の偏光方向を変化させるとともに、第一回転筒体に対して軸芯O2を合わせて回転可能に設けられた第二回転筒体49内に配置された集光レンズR3と反射ミラーMとによりフェムト秒レーザを集光しつつ外径方向に進ませ、円筒ワークWの内周面W1を対面させて上記フェムト秒レーザを照射させ、反射ミラーを備えた第二回転筒体の回転1回転に対して上記λ/2板Pを備えた第一回転筒体を1/2の回転させ、上記円筒ワークの内周面に周期性溝KMを同一方向に整列加工する。【選択図】 図3
請求項(抜粋):
フェムト秒レーザ発振器から発射される直線偏光のフェムト秒レーザを回転可能に設けられた第一回転筒体内に導き、上記第一回転筒体内に配置されたλ/2板により直線偏光の偏光方向を変化させるとともに、上記第一回転筒体に対して軸芯を合わせて回転可能に設けられた第二回転筒体内に配置された集光レンズと反射ミラーとによりフェムト秒レーザを集光しつつ外径方向に進ませ、上記反射ミラーの外周囲にチャック手段で把持された円筒ワークの内周面を対面させて上記フェムト秒レーザを照射させ、上記反射ミラーを備えた上記第二回転筒体の回転1回転に対して上記λ/2板を備えた上記第一回転筒体を1/2の回転させ、上記円筒ワークの内周面に周期性溝を同一方向に整列加工することを特徴とする円筒内周面の周期構造体加工方法。
IPC (4件):
B23K 26/36
, B23K 26/073
, B23K 26/06
, B23K 26/08
FI (4件):
B23K26/36
, B23K26/073
, B23K26/06 Z
, B23K26/08 F
Fターム (7件):
4E068AH00
, 4E068CB01
, 4E068CB10
, 4E068CD08
, 4E068CE02
, 4E068CE04
, 4E068DA02
引用特許:
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