画像欠陥検査方法、画像欠陥検査装置及び外観検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：青木篤 , 鶴田準一 , 島田哲郎 , 土屋繁 , 西山雅也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-188209
公開番号（公開出願番号）：特開2004-177397
出願日： 2003年06月30日
公開日（公表日）： 2004年06月24日
要約：

【課題】画像に応じた閾値の設定が短時間に且つ低コストで行える画像欠陥検査方法及び画像欠陥検査装置の実現。【解決手段】2つの画像の対応する部分のグレイレベル差を検出し101、グレイレベル差の累積頻度を算出し103、仮定した所定の分布で累積頻度がグレイレベル差に対してリニアな関係になるように変換して変換累積発生頻度を算出し104、変換累積発生頻度の近似直線を算出し105、近似直線に基づいて所定の累積頻度の値から所定の算出方法に従って閾値を決定し106、決定した閾値に従って欠陥を判定する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

2つの画像の対応する部分のグレイレベル差を検出し、検出した前記グレイレベル差を閾値と比較して、前記グレイレベル差が前記閾値より大きい場合に、欠陥であると判定する画像欠陥検査方法であって、算出した前記グレイレベル差の累積頻度を算出し、前記グレイレベル差が分布すると仮定した所定の分布で、前記累積頻度が前記グレイレベル差に対してリニアな関係になるように前記累積頻度を変換して変換累積頻度を算出し、前記変換累積頻度の直線近似して、近似直線を算出し、算出した前記近似直線に基づいて、所定の累積頻度の値から所定の算出方法に従って閾値を決定し、決定した閾値に従って比較を行うことを特徴とする画像欠陥検査方法。

IPC (5件)：

G01N21/956 , G01B11/24 , G06T1/00 , G06T7/00 , H01L21/66

FI (6件)：

G01N21/956 A , G06T1/00 305A , G06T7/00 200B , H01L21/66 J , G01B11/24 K , G01B11/24 F

Fターム (67件)：

2F065AA49 , 2F065AA56 , 2F065BB02 , 2F065CC19 , 2F065DD06 , 2F065FF41 , 2F065JJ02 , 2F065JJ03 , 2F065JJ25 , 2F065JJ26 , 2F065MM03 , 2F065PP12 , 2F065QQ03 , 2F065QQ08 , 2F065QQ17 , 2F065QQ24 , 2F065QQ25 , 2F065QQ32 , 2F065QQ41 , 2F065QQ42 , 2F065QQ43 , 2G051AA51 , 2G051AB02 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051DA07 , 2G051EA08 , 2G051EA11 , 2G051EA12 , 2G051EA14 , 2G051EB01 , 2G051EB02 , 2G051EC02 , 2G051EC03 , 2G051EC06 , 2G051ED07 , 4M106AA01 , 4M106BA20 , 4M106CA39 , 4M106DB04 , 4M106DJ03 , 4M106DJ04 , 4M106DJ05 , 4M106DJ12 , 4M106DJ14 , 4M106DJ18 , 4M106DJ19 , 4M106DJ20 , 4M106DJ21 , 4M106DJ27 , 5B057AA03 , 5B057BA02 , 5B057CA08 , 5B057CA12 , 5B057CA16 , 5B057DA03 , 5B057DB02 , 5B057DB09 , 5B057DC23 , 5B057DC32 , 5L096AA06 , 5L096BA03 , 5L096CA02 , 5L096FA22 , 5L096FA37 , 5L096GA08 , 5L096GA51

引用特許：

審査官引用 (10件)

画像処理方法およびその装置並びに荷電粒子顕微鏡検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-144625 出願人：株式会社日立製作所
特開平4-172553
腐食環境モニタリング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-249744 出願人：株式会社日立製作所

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