気泡検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：丸山隆夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-120283
公開番号（公開出願番号）：特開2002-310939
出願日： 2001年04月18日
公開日（公表日）： 2002年10月23日
要約：

【要約】【課題】透明物体や半透明物体などの被検査物内の気泡を撮像する気泡検査装置において、撮像画像のコントラストを改善し、安定的で正確に気泡や不純物の有無や形状を検査できる気泡検査装置を提供する。【解決手段】被検査体の上方から撮像し画像データを作成する撮像手段と、被検査体に上方斜め方向から光を照射する第1の照明手段と、撮像手段と同軸方向から光を照射する第2の照明手段と、画像データを保存する画像メモリと画像メモリの画像を処理する画像処理回路を有する画像処理手段とを有し、撮像手段は、第1の照明手段により照明された被検査体を撮像して第1の画像データを作成し、第2の照明手段により照明された被検査体を撮影して第2の画像データを作成し、画像処理回路は、第1の画像データおよび第2の画像データを用いて画像データ内の特徴部を抽出することで、気泡検査を行う。

請求項（抜粋）：

被検査体を撮像し画像データを作成する撮像手段と、当該撮像手段の光軸と被検査体とが交わる点を通り当該光軸に垂直な平面を基準として撮像手段が設けられた側に設けられ、前記光軸と一致する関係または平行の関係にない照射方向で被検査体を照射する第1の照明手段と、前記平面を基準として撮像手段が設けられた側に設けられ、前記光軸と略同一方向または略平行する照射方向で被検査体を照射する第2の照明手段と、前記画像データを保存する画像メモリと当該画像メモリの画像を処理する画像処理回路を有する画像処理手段とを有し、前記撮像手段は、前記第1の照明手段により照明された被検査体を撮像して第1の画像データを作成し、前記第2の照明手段により照明された被検査体を撮影して第2の画像データを作成し、前記画像処理回路は、前記第1の画像データおよび第2の画像データを用いて画像データ内の特徴部を抽出することで気泡検査を行うことを特徴とする気泡検査装置。

IPC (5件)：

G01N 21/958 , G01B 11/24 , G06T 1/00 300 , G06T 7/00 200 , G06T 7/60 250

FI (5件)：

G01N 21/958 , G06T 1/00 300 , G06T 7/00 200 B , G06T 7/60 250 A , G01B 11/24 K

Fターム (53件)：

2F065AA49 , 2F065BB22 , 2F065FF04 , 2F065HH12 , 2F065HH13 , 2F065JJ03 , 2F065JJ09 , 2F065QQ24 , 2F065QQ31 , 2F065UU05 , 2G051AA42 , 2G051AA84 , 2G051AA90 , 2G051AB06 , 2G051AB20 , 2G051BA01 , 2G051BA10 , 2G051BA20 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051EA11 , 2G051EA14 , 2G051EB01 , 2G051EB02 , 2G051EC02 , 2G051EC03 , 2G051ED11 , 5B057AA01 , 5B057BA02 , 5B057CA02 , 5B057CA08 , 5B057CA12 , 5B057CA16 , 5B057CB18 , 5B057CC01 , 5B057CH08 , 5B057DA03 , 5B057DA15 , 5B057DB02 , 5B057DB05 , 5B057DB09 , 5B057DC32 , 5B057DC36 , 5L096AA03 , 5L096AA06 , 5L096BA03 , 5L096CA02 , 5L096DA03 , 5L096FA37 , 5L096GA08 , 5L096GA51 , 5L096JA11

引用特許：

審査官引用 (13件)

特開平4-359106
特開昭56-030724
表面検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-341505 出願人：株式会社ニデック

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