特許
J-GLOBAL ID：200903098022162867
光学エレメント
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
矢野 敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-323180
公開番号（公開出願番号）：特開平10-233362
出願日： 1997年11月25日
公開日（公表日）： 1998年09月02日
要約：
【要約】【課題】 レチクルのパターンまたは形状に最適化された照明を得る。【解決手段】 本発明によれば、異なる照明領域を有したアレー状の光学エレメントが使用され、それぞれの照明領域がレチクル上の異なる形状パターンに対応すなわち適合化されている。アレー光学エレメントとしてはフィルタ、回折光学エレメント、マイクロレンズアレー等が使用され、該アレー光学エレメントの照明領域により四重極、円形、シルクハット形等の様々な照明特性ないし特徴が得られる。個々の照明領域をレチクル上の個々のパターン領域に適合化させることにより、感光性基板の露光が最適化される。
請求項（抜粋）：
複数の異なる照明領域を備えた光学エレメントにおいて、前記複数の異なる照明領域のそれぞれが異なる照明特性を有していることにより、レチクルの照明と感光性基板の露光が最適化されるよう構成された光学エレメント。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 515 D
, G03F 7/20 521
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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