特許
J-GLOBAL ID：200903098423696775
研磨液組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
細田 芳徳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-122691
公開番号（公開出願番号）：特開2000-315667
出願日： 1999年04月28日
公開日（公表日）： 2000年11月14日
要約：
【要約】【課題】絶縁層と金属層を有する被研磨表面において、金属膜の研磨速度を向上させ、且つ金属配線層のディッシング等の防止効果に優れた研磨液組成物を提供すること。【解決手段】絶縁層と金属層を有する被研磨表面を研磨する研磨液組成物であって、アクリル酸系重合物、有機酸及び水を含有し、pHが7以下である研磨液組成物(第1研磨液組成物)、さらに酸化剤を含有する研磨液組成物(第2研磨液組成物)、並びに第1又は第2研磨液組成物にさらに研磨材を含有する研磨液組成物(第3研磨液組成物)。
請求項（抜粋）：
絶縁層と金属層を有する被研磨表面を研磨する研磨液組成物であって、アクリル酸系重合物、有機酸及び水を含有し、pHが7以下である研磨液組成物。
IPC (4件)：
H01L 21/304 622
, B24B 37/00
, C09K 3/14 550
, C09K 3/14
H01L 21/304 622 D
, B24B 37/00 H
, C09K 3/14 550 Z
, C09K 3/14 550 D
3C058AA07
, 3C058AC04
, 3C058CB01
, 3C058CB03
, 3C058DA02
