特許
J-GLOBAL ID：200903098876318429

研磨装置

発明者：
桑名 一孝

桑名 一孝 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (2件)： 小野 尚純 ,  奥貫 佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-248105
公開番号（公開出願番号）：特開2004-082291
出願日： 2002年08月28日
公開日（公表日）： 2004年03月18日
要約：
【課題】一方の研磨手段によって研磨する加工条件と他方の研磨手段によって研磨する加工条件を一致させることにより、一方の研磨手段によって研磨された被加工物の研磨状態と他方の研磨手段によって研磨された被加工物の研磨状態を同一にすることができる研磨装置を提供する。【解決手段】第1のチャックテーブル5および第2のチャックテーブル5と、第1の研磨手段325および第2の研磨手段325とを具備する研磨装置であって、第1のチャックテーブル5および第1の研磨手段と第2のチャックテーブル5および第2の研磨手段は対称軸線に対して線対象に配置されており、第1のチャックテーブルと第2のチャックテーブルの回転方向はそれぞれ対称軸線に対して線対象の方向に設定され、第1の研磨手段の研磨工具と第2の研磨手段の研磨工具の回転方向はそれぞれ対称軸線に対して線対象の方向に設定されている。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
被加工物を保持する第1のチャックテーブルおよび第2のチャックテーブルと、該第1のチャックテーブルおよび該第2のチャックテーブルに保持された被加工物をそれぞれ研磨するための回転工具をそれぞれ備えた第1の研磨手段および第2の研磨手段と、を具備する研磨装置において、 該第1のチャックテーブルおよび該第1の研磨手段と該第2のチャックテーブルおよび該第2の研磨手段は、対称軸線に対して線対象に配置されており、 該第1のチャックテーブルと該第2のチャックテーブルの回転方向はそれぞれ該対称軸線に対して線対象の方向に設定され、該第1の研磨手段の該研磨工具と該第2の研磨手段の該研磨工具の回転方向はそれぞれ該対称軸線に対して線対象の方向に設定されている、 ことを特徴とする研磨装置。
IPC (2件)：
B24B37/04 ,  H01L21/304
FI (3件)：
B24B37/04 Z ,  H01L21/304 621B ,  H01L21/304 622R
Fターム (7件)：
3C058AA01 ,  3C058AA11 ,  3C058AA18 ,  3C058AB03 ,  3C058AC05 ,  3C058CB01 ,  3C058DA17
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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