特許
J-GLOBAL ID：200903099123623926

感放射線性樹脂組成物

発明者：
西村 功

西村 功 について

, 
小笠原 昭二

小笠原 昭二 について

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遠藤 昌之

遠藤 昌之 について


出願人/特許権者：
ジェイエスアール株式会社

ジェイエスアール株式会社 について


代理人 (1件)： 大島 正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-256495
公開番号（公開出願番号）：特開平11-095423
出願日： 1997年09月22日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：
【要約】【課題】 アルカリ性水溶液で現像でき、平坦性、耐熱性、耐薬品性、透明性等の諸特性とともに、従来これらの特性と同時に実現することが困難であった低誘電特性の優れたパターン状薄膜を容易に形成することができる感放射線性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 (A)、(a-1)ヘキサフルオロプロピレン、(a-2)不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物並びに(a-3)上記(a-1)成分および(a-2)成分と共重合可能な不飽和化合物との含フッ素共重合体、(B)、1,2-キノンジアジド化合物、(C)、架橋性基を少なくとも1個含有する架橋性化合物、並びに(D)、前記(A)成分、(B)成分および(C)成分を溶解している有機溶媒からなる感放射線性樹脂組成物。
請求項（抜粋）：
(A)、(a-1)ヘキサフルオロプロピレン、(a-2)不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物並びに(a-3)上記(a-1)成分および(a-2)成分と共重合可能な不飽和化合物との含フッ素共重合体、(B)、1,2-キノンジアジド化合物、並びに(C)、架橋性化合物からなることを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (7件)：
G03F 7/022 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312
FI (7件)：
G03F 7/022 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/312 D ,  H01L 21/30 502 R
引用特許：
出願人引用 (6件)
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