特許
J-GLOBAL ID：200903099321218719
電子顕微鏡観察用試料の作成方法および電子顕微鏡観察用試料加工装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-012551
公開番号（公開出願番号）：特開平11-211632
出願日： 1998年01月26日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：
【要約】【課題】 積層膜の各層の界面および積層膜と基板材料との界面での剥離を防止できる電子顕微鏡観察用試料の作成方法および電子顕微鏡観察用試料加工装置を提供する。【解決手段】 上側に積層膜4が形成された基板1を試料ステージに固定し、積層膜4と基板1の上部とをレーザー加工装置のレーザー光により溝状に除去して、観察すべき領域の周囲に溝3を形成することによって、島状積層膜部5を形成する。次に、上記溝3に沿って基板1を高速回転外周刃加工装置の高速回転外周刃10により切断する。
請求項（抜粋）：
表面上に積層膜が形成された基板から薄膜である電子顕微鏡観察用試料を作成するための電子顕微鏡観察用試料の作成方法であって、上記積層膜と上記基板のうちの少なくとも上記積層膜の一部を溝状に除去する工程と、上記溝状に除去された部分で上記基板を切断する工程とを有することを特徴とする電子顕微鏡観察用試料の作成方法。
IPC (3件)：
G01N 1/28
, H01J 37/20
, H01J 37/305
G01N 1/28 N
, H01J 37/20 F
, H01J 37/305 A
, G01N 1/28 F
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (5件)
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