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J-GLOBAL ID：201002290607706558   整理番号：10A1037485

非晶質炭素膜蒸着用の有機溶媒中でのプラズマの発生

Plasma Generation in Organic Solvent for Amorphous Carbon Film Deposition

著者 (6件)： SHINOHARA Masanori (Nagasaki Univ., Nagasaki, JPN) ,  ZHANG Shuai (Nagasaki Univ., Nagasaki, JPN) ,  KOTANI Kenji (Nagasaki Univ., Nagasaki, JPN) ,  AKAKI Kazuhiko (Nagasaki Univ., Nagasaki, JPN) ,  MATSUDA Yoshinobu (Nagasaki Univ., Nagasaki, JPN) ,  FUJIYAMA Hiroshi (Nagasaki Univ., Nagasaki, JPN)
資料名： Transactions of the Materials Research Society of Japan  (Transactions of the Materials Research Society of Japan)
巻： 35  号： 3  ページ： 567-570  発行年： 2010年09月 
JST資料番号： L4468A  ISSN： 1382-3469  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： コア電極にTiワイヤ,外側の電極に真鍮を用いて,エタノール/n-ヘキサン混合溶液中にガラス管を設置し,電極間に低周波正弦波電力を供給することにより,高電圧を発生させ,管壁に非晶質炭素膜を蒸着した。蒸着膜は,FTIRにより評価した。その結果,次の知見を得た。1)高エタノール中では,大電流が発生するが,n-ヘキサン中ではプラズマの発生は難しい。2)エタノール中又はn-ヘキサン中では均一膜は得られない。3)n-ヘキサン/エタノール=1の混合溶液中で均一膜が得られる。4)FTIRより,得られた膜は,高分子様非晶質炭素(PLC)膜の特徴を示す。

シソーラス用語： 炭素材 ,  非晶質 ,  *蒸着膜 ,  プラズマCVD ,  有機溶媒 ,  混合液体 ,  アルコール ,  アルカン ,  均一性 ,  高分子 ,  炭素 ,  *プラズマ生成 ,  脂肪族アルコール
準シソーラス用語： PLC【炭素】 ,  *プラズマ蒸着 ,  高分子様非晶質炭素 ,  *混合溶媒 ,  *非晶質炭素

分類 (3件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  炭素とその化合物  (YB02060D) ,  プラズマ生成・加熱  (BJ02060E)

物質索引 (2件)： n-ヘキサン ,  エタノール

引用文献 (12件)：

• A. Grill: Diam. Relat. Mat. 8, 428-434(1999).
• T. Hasebe, A. Shimada, T. Suzuki, Y. Matsuoka, T. Saito, S. Yohena, A. Kamijo, N. Siraga, M. Higuchi, K. Kimura, H. Yoshimura, S. Kuribayashi: J. Biomedical Mater. Research Part A, 76, 86-94(2006).
• T. Nakatani, K. Okamoto, Y. Nitta, A. Mochizuki, H. Hoshi, and A. Homma: J. Photopolym. Sci. and Technol. 21, 225-230(2008).
• M. Matsushita, Y. Matsuda and H. Fujiyama: Thin Solid Films, 435, 285-287(2003)
• Y. Nitta, T. Nakatani, K. Okamoto, H. Fujiyama: Proc. of the 24th Symposium on plasma Processing, 224-225(2007).

タイトルに関連する用語 (5件)： 非晶質 ,  炭素膜 ,  蒸着 ,  有機溶媒 ,  プラズマ