特許
J-GLOBAL ID:201003005786936401
白金族元素の回収方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (6件):
重信 和男
, 水野 昭宣
, 清水 英雄
, 高木 祐一
, 中野 佳直
, 秋庭 英樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-326863
公開番号(公開出願番号):特開2010-150569
出願日: 2008年12月24日
公開日(公表日): 2010年07月08日
要約:
【課題】半導体LSI、磁気記録媒体、平面型ディスプレイ、携帯電話などの発達に伴い使用済みの薄膜材料形成用白金族元素含有スパッタリングターゲットが大量に生じている。元来は高純度のターゲット材を、効率よく、簡単で、低コストな手法で再生させる技術の開発が求められている。【解決手段】高純度廃却白金族元素含有ターゲット材を出発原料とし、溶融塩中で塩素化せしめ、次に生成した金属塩化物を選択的に還元処理することで、高融点金属や貴金属の粉末を高純度の状態で得る。得られた金属粉末は、それを使用してスパッタリングターゲット材製造に使用される。【選択図】図8
請求項(抜粋):
白金族元素を含む廃材を溶融塩浴中で塩素化し、回収用金属の塩化物を形成し、次に該得られた金属塩化物を還元処理に付して高純度金属粉末を得ることを特徴とする白金族元素金属粉末製造法。
IPC (5件):
C22B 11/06
, C22B 7/00
, C22B 5/12
, B22F 9/26
, C23C 14/34
FI (5件):
C22B11/06
, C22B7/00 F
, C22B5/12
, B22F9/26 E
, C23C14/34 A
Fターム (23件):
4K001AA41
, 4K001BA22
, 4K001DA02
, 4K001DA10
, 4K001HA09
, 4K001HA10
, 4K001HA11
, 4K001HA12
, 4K001KA08
, 4K001KA09
, 4K001KA10
, 4K001KA11
, 4K017AA02
, 4K017BA02
, 4K017DA01
, 4K017DA03
, 4K017EJ01
, 4K017FB02
, 4K017FB03
, 4K017FB05
, 4K017FB06
, 4K029DC03
, 4K029DC07
引用特許:
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (2件)
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