特許
J-GLOBAL ID：201003008465741241

板状部材の支持装置および支持方法

発明者：
中田 幹

中田 幹 について


出願人/特許権者：
リンテック株式会社

リンテック株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人樹之下知的財産事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-275718
公開番号（公開出願番号）：特開2010-103426
出願日： 2008年10月27日
公開日（公表日）： 2010年05月06日
要約：
【課題】板状部材の各部に作用する吸引力を均一化して板状部材の変形や局部応力を抑制することができる板状部材の支持装置および支持方法を提供すること。【解決手段】減圧手段4によって隙間7に減圧領域が形成され、この減圧領域によってウェハWが吸引されることで、隙間7に面したウェハW全体を吸引することができるとともに、給気手段5によってウェハW中央部の撓みを抑制することもできるので、ウェハWの変形や局部応力を抑制しつつウェハWが略平面となる状態で支持することができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
板状部材の外縁部に当接する外側支持部と、 前記外側支持部よりも内側にて前記板状部材の表面に相対する内側対向面と、 前記板状部材と前記内側対向面とが相対する隙間を減圧する減圧手段と、 前記減圧手段に気体を供給する供給手段とを備え、 前記減圧手段は、前記供給手段から気体が供給される第1通気部と、この第1通気部および前記隙間に連通されて当該第1通気部よりも通気経路が絞られた第2通気部と、この第2通気部に連通されて前記供給された気体を排気する第3通気部とを有して構成され、 前記第2通気部における気体の流速を増加させることで前記隙間に減圧領域を形成して前記板状部材を支持することを特徴とする板状部材の支持装置。
IPC (1件)：
H01L 21/683
FI (1件)：
H01L21/68 P
Fターム (8件)：
5F031CA02 ,  5F031DA15 ,  5F031HA03 ,  5F031HA07 ,  5F031HA12 ,  5F031HA78 ,  5F031MA38 ,  5F031PA14
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (6件)
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